特許
J-GLOBAL ID：201803011206812009
研削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-145924
公開番号（公開出願番号）：特開2018-015823
出願日： 2016年07月26日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
要約：
【課題】熱膨張による保持テーブルの傾き変化を抑えて、ウエーハを良好に研削すること。【解決手段】研削装置(1)は、ウエーハ(W)を保持する保持テーブル(24)と、保持テーブルを支持する支持テーブル(26)と、支持テーブルを回転させる回転手段(90)と、支持テーブルを回転可能に支持する枠体(25)と、基台(52)から枠体を支持する少なくとも3つの支持柱(71)とを備え、支持柱の内部には貫通孔(71c)と、貫通孔とエア供給源(60)とを連通する供給口(73a)と、貫通孔を流れたエアを支持テーブルに向かって排気する排気口(72a)とが形成され、貫通孔にエアを流して支持柱を冷却するとともに、貫通孔を流れたエアを支持テーブルに向かって排気する構成とした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段で保持したウエーハを研削砥石で研削する研削手段とを備える研削装置であって、
該保持手段は、ウエーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを支持する支持テーブルと、該支持テーブルを回転させる回転手段と、該支持テーブルを回転可能に支持する枠体と、該基台から該枠体を支持する少なくとも3つの支持柱とを備え、
該支持柱は、下端を該基台に接続し上端を該枠体に接続して、内部を貫通する貫通孔と、該下端側に配設し該貫通孔とエア供給源とを連通する供給口と、該上端側に配設し該貫通孔を流れたエアを該支持テーブルに向かって排気する排気口とを備え、
該貫通孔にエアを流して該支持柱を冷却するとともに、該貫通孔を流れたエアを該支持テーブルに向かって排気し該支持テーブルを冷却して該支持柱と該支持テーブルとの熱変形を防止する研削装置。
IPC (5件)：
B24B 49/08
, B24B 55/02
, B24B 7/04
, H01L 21/304
, B24B 41/06
B24B49/08
, B24B55/02 B
, B24B7/04 A
, H01L21/304 631
, B24B41/06 L
3C034AA08
, 3C034BB73
, 3C034BB87
, 3C034DD10
, 3C034DD20
, 3C043BA03
, 3C043BA09
, 3C043CC04
, 3C043DD02
, 3C043DD04
, 3C043DD05
, 3C043DD06
, 3C043EE02
, 3C047FF04
, 5F057AA31
, 5F057BA11
, 5F057BB03
, 5F057BB09
, 5F057BB12
, 5F057CA11
, 5F057DA11
, 5F057FA12
, 5F057GA05
