特許
J-GLOBAL ID：201103011401805325
加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-298229
公開番号（公開出願番号）：特開2011-136398
出願日： 2009年12月28日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：
【課題】加工熱が発生してもチャックテーブルを常に水平に保持することが可能な加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル44と、加工手段26とを備えた加工装置であって、該チャックテーブル44を固定的に支持する固定支持部80と、該チャックテーブル44を上下方向に移動可能に支持する可動支持部90と、該固定支持部80の温度上昇値を計測する計測手段96と、該可動支持部90の温度上昇値を計測する計測手段98と、温度上昇値に対する該保持面の高さ位置変化量データを記憶した記憶手段102と、該計測手段96,98で計測された温度上昇値と、該記憶手段102に記憶されている該高さ位置変化量データに基づいて該第1及び第2可動支持部90を駆動して、該保持テーブル44の傾きを該加工手段26と平行に補正する制御手段100と、を具備したことを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、
該チャックテーブルを固定的に支持する固定支持部と、
該固定支持部から円周方向にそれぞれ離間して配設され、該チャックテーブルを上下方向に移動可能に支持する第1及び第2可動支持部と、
該固定支持部の温度上昇値を計測する第1温度上昇計測手段と、
該第1可動支持部の温度上昇値を計測する第2温度上昇計測手段と、
該第2可動支持部の温度上昇値を計測する第3温度上昇計測手段と、
温度上昇値に対する該保持面の高さ位置変化量データを記憶した記憶手段と、
該第1乃至第3温度上昇計測手段で計測された温度上昇値と、該記憶手段に記憶されている該高さ位置変化量データに基づいて該第1及び第2可動支持部を駆動して、該保持テーブルの傾きを該加工手段と平行に補正する制御手段と、
を具備したことを特徴とする加工装置。
IPC (3件)：
B24B 41/06
, B24B 49/14
, B24B 7/04
B24B41/06 L
, B24B49/14
, B24B7/04 Z
3C034AA08
, 3C034BB73
, 3C034BB75
, 3C034CA02
, 3C034CA13
, 3C034CA19
, 3C034CA26
, 3C034CB08
, 3C034CB14
, 3C034DD10
, 3C034DD13
, 3C034DD15
, 3C043BA03
, 3C043BA09
, 3C043BA16
, 3C043CC04
, 3C043DD05
