特許
J-GLOBAL ID:201803011243280424
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
日向寺 雅彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-182065
公開番号(公開出願番号):特開2018-046255
出願日: 2016年09月16日
公開日(公表日): 2018年03月22日
要約:
【課題】通電能力を向上できる半導体装置を提供する。【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、第1電極と、第1導電形の第1半導体領域と、第1導電形の第2半導体領域と、第2導電形の第3半導体領域と、第1導電形の第4半導体領域と、第2電極と、第2導電形の第5半導体領域と、第3電極と、第1ゲート電極と、を有する。第3半導体領域は、第2半導体領域の上に設けられている。第4半導体領域は、第3半導体領域の上に設けられている。第2電極は、第4半導体領域の上に設けられている。第5半導体領域は、第2半導体領域の上に設けられ、第1方向において第3半導体領域と離間している。第3電極は、第5半導体領域の上に設けられ、第2電極と離間している。第1ゲート電極は、第1方向において第1ゲート絶縁層を介して第3半導体領域と対面している。第1ゲート電極は、第3半導体領域と第5半導体領域との間に位置している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1電極と、
前記第1電極の上に設けられ、前記第1電極と電気的に接続された第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域の上に設けられ、前記第1半導体領域よりも第1導電形のキャリア濃度が低い第1導電形の第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の上に設けられた第2導電形の第3半導体領域と、
前記第3半導体領域の上に設けられた第1導電形の第4半導体領域と、
前記第4半導体領域の上に設けられ、前記第4半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
前記第2半導体領域の上に設けられ、第1方向において前記第3半導体領域と離間した第2導電形の第5半導体領域と、
前記第5半導体領域の上に設けられ、前記第2電極と離間し、前記第5半導体領域と電気的に接続された第3電極と、
前記2半導体領域の上に設けられ、前記第1方向において第1ゲート絶縁層を介して前記第3半導体領域と対面し、前記第3半導体領域と前記第5半導体領域との間に位置する第1ゲート電極と、
を備えた半導体装置。
IPC (8件):
H01L 29/78
, H01L 29/12
, H01L 21/336
, H01L 29/739
, H01L 29/06
, H01L 29/41
, H01L 29/423
, H01L 29/49
FI (24件):
H01L29/78 652C
, H01L29/78 653C
, H01L29/78 652K
, H01L29/78 652J
, H01L29/78 652T
, H01L29/78 652F
, H01L29/78 652L
, H01L29/78 652S
, H01L29/78 652M
, H01L29/78 656A
, H01L29/78 658Z
, H01L29/78 655C
, H01L29/78 655A
, H01L29/78 657F
, H01L29/78 652N
, H01L29/06 301M
, H01L29/06 301S
, H01L29/06 301V
, H01L29/78 652P
, H01L29/06 301F
, H01L29/06 301G
, H01L29/44 L
, H01L29/58 G
, H01L29/44 Y
Fターム (17件):
4M104AA01
, 4M104AA03
, 4M104AA04
, 4M104AA10
, 4M104BB01
, 4M104BB02
, 4M104CC05
, 4M104FF02
, 4M104FF04
, 4M104FF06
, 4M104FF10
, 4M104FF11
, 4M104GG06
, 4M104GG09
, 4M104GG18
, 4M104HH18
, 4M104HH20
引用特許: