特許
J-GLOBAL ID:201803011633645040

圧電積層スタックの製造方法、および圧電積層スタック

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  森田 拓 ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-564477
公開番号(公開出願番号):特表2018-521505
出願日: 2016年04月13日
公開日(公表日): 2018年08月02日
要約:
本発明は、圧電積層スタック(10)の製造方法において、複数の圧電セラミック層(12)と、複数の導電性内部電極(14)とを有し、これらが縦軸(L)に沿って交互に配置される積層スタック(10)を準備し、このセラミック層(12)はその表面(16)に、多結晶質の組織(20)を有する第1の領域(18)と、多結晶質の組織(20)に機械的に付着しているだけの緩いセラミック材料(24)を有する第2の領域(22)とを有し、この緩いセラミック材料(24)を、多結晶質の組織(20)から、多結晶質の組織(20)を損なうことなしに除去する、圧電積層スタック(10)の製造方法に関する。さらに、本発明は、ことにこのような方法で製造された積層スタック(10)に関する。
請求項(抜粋):
工程: S1)複数の圧電セラミック層(12)と、複数の導電性内部電極(14)とを有する積層スタック(10)を準備すること、ここで、前記積層スタック(10)の縦軸(L)に沿ってそれぞれ1つの内部電極(14)が2つのセラミック層(12)の間に配置されていて、かつここで、前記圧電セラミック層(12)はその表面(16)に、多結晶質の組織(20)が存在する第1の領域(18)と、前記多結晶質の組織(20)に機械的に付着しているだけの圧電セラミック材料(24)が存在する第2の領域(22)とを有する; S2)前記多結晶質の組織(20)に機械的に付着しているだけの圧電セラミック材料(24)を、前記多結晶質の組織(20)を損なうことなしに除去すること を有する、圧電積層スタック(10)の製造方法。
IPC (6件):
H01L 41/39 ,  H01L 41/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187
FI (6件):
H01L41/39 ,  H01L41/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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