特許
J-GLOBAL ID:201803011633645040
圧電積層スタックの製造方法、および圧電積層スタック
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 森田 拓
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-564477
公開番号(公開出願番号):特表2018-521505
出願日: 2016年04月13日
公開日(公表日): 2018年08月02日
要約:
本発明は、圧電積層スタック(10)の製造方法において、複数の圧電セラミック層(12)と、複数の導電性内部電極(14)とを有し、これらが縦軸(L)に沿って交互に配置される積層スタック(10)を準備し、このセラミック層(12)はその表面(16)に、多結晶質の組織(20)を有する第1の領域(18)と、多結晶質の組織(20)に機械的に付着しているだけの緩いセラミック材料(24)を有する第2の領域(22)とを有し、この緩いセラミック材料(24)を、多結晶質の組織(20)から、多結晶質の組織(20)を損なうことなしに除去する、圧電積層スタック(10)の製造方法に関する。さらに、本発明は、ことにこのような方法で製造された積層スタック(10)に関する。
請求項(抜粋):
工程:
S1)複数の圧電セラミック層(12)と、複数の導電性内部電極(14)とを有する積層スタック(10)を準備すること、ここで、前記積層スタック(10)の縦軸(L)に沿ってそれぞれ1つの内部電極(14)が2つのセラミック層(12)の間に配置されていて、かつここで、前記圧電セラミック層(12)はその表面(16)に、多結晶質の組織(20)が存在する第1の領域(18)と、前記多結晶質の組織(20)に機械的に付着しているだけの圧電セラミック材料(24)が存在する第2の領域(22)とを有する;
S2)前記多結晶質の組織(20)に機械的に付着しているだけの圧電セラミック材料(24)を、前記多結晶質の組織(20)を損なうことなしに除去すること
を有する、圧電積層スタック(10)の製造方法。
IPC (6件):
H01L 41/39
, H01L 41/04
, H01L 41/08
, H01L 41/083
, H01L 41/09
, H01L 41/187
FI (6件):
H01L41/39
, H01L41/04
, H01L41/08
, H01L41/083
, H01L41/09
, H01L41/187
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
圧電/電歪デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-140692
出願人:日本碍子株式会社
-
ドライアイスブラスト装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-029066
出願人:株式会社シュトルツ
-
炭酸ガススノー噴射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-283551
出願人:京セラキンセキ株式会社
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審査官引用 (6件)
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圧電/電歪デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-140692
出願人:日本碍子株式会社
-
ドライアイスブラスト装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-029066
出願人:株式会社シュトルツ
-
炭酸ガススノー噴射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-283551
出願人:京セラキンセキ株式会社
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