特許
J-GLOBAL ID：201803011802410201
サンプリングレート決定機構付きの測定サンプル抽出方法及びそのコンピュータプログラム製品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
正林 真之
, 林 一好
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-105580
公開番号（公開出願番号）：特開2016-224947
特許番号：特許第6285494号
出願日： 2016年05月26日
公開日（公表日）： 2016年12月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 加工機械が複数の履歴ワークピースを処理する複数組の履歴加工データ、及び前記複数組の履歴加工データに対応する前記履歴ワークピースの複数の履歴測定値を収集する工程と、
前記複数組の履歴加工データ及び前記履歴測定値を使用して、推定アルゴリズムによって推定モデルを作成することを含むモデリング工程を行う工程と、
前記加工機械がN個のワークピースを処理するごとに所望の被測定ワークピースとして選び取られた第N個のワークピースのサンプリングレート1/Nを初期化する工程と、
サンプリングワークピースを決定的サンプル集合に加える工程と、
前記加工機械が処理する前記サンプリングワークピースの1組の加工データ、及び前記1組の加工データに対応する前記ワークピースの実際測定値を取得する工程と、
前記サンプリングワークピースの前記1組の加工データを前記推定モデルに入力し、前記サンプリングワークピースの仮想測定値を算出する工程と、
前記サンプリングワークピースの前記仮想測定値と前記実際測定値との間の絶対誤差比率を算出する工程と、
前記仮想測定値の前記絶対誤差比率が前記加工機械の最大寸法比率より大きいかを判断して、第1の結果を取得する工程と、
前記第1の結果がYESである場合、オーバースペック計数に1を足す工程と、
前記第1の結果がNOである場合、前記決定的サンプル集合における全てのサンプリングワークピースの絶対誤差比率の平均絶対誤差率(Mean Absolute Percentage Error;MAPE)を算出して、前記平均絶対誤差率が平均絶対誤差率の規制上限以上になるかを判断して、第2の結果を取得する工程と、
前記第2の結果がYESである場合、前記ワークピースのサンプリングレート1/Nを増やし、前記決定的サンプル集合をクリアし前記オーバースペック計数を0にする工程と、
前記第2の結果がNOである場合、前記決定的サンプル集合におけるサンプリングワークピース数量が決定的サンプル数量の閾値以上になるかを判断して、第3の結果を取得する工程と、
前記第3の結果がNOである場合、前記ワークピースのサンプリングレート1/Nをそのまま維持する工程と、
前記第3の結果がYESである場合、前記決定的サンプル集合における全てのサンプリングワークピースの絶対誤差比率の最大絶対誤差比率(Max Absolute Percentage Error;MaxErr)を算出して、前記最大絶対誤差比率が最大絶対誤差比率の規制上限より小さいかを判断して、第4の結果を取得する工程と、
前記第4の結果がYESである場合、前記ワークピースのサンプリングレート1/Nを減少し、前記決定的サンプル集合をクリアし前記オーバースペック計数を0にする工程と、
前記第4の結果がNOである場合、前記決定的サンプル集合における最古のサンプリングワークピースを廃棄し、前記ワークピースのサンプリングレート1/Nをそのまま維持する工程と、
を備える測定サンプリング法。
IPC (2件)：
G05B 19/418 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
G05B 19/418 Z
, H01L 21/02 Z
