特許
J-GLOBAL ID:201803011804943908
ワーク吸着固定治具
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-204826
公開番号(公開出願番号):特開2018-065216
出願日: 2016年10月19日
公開日(公表日): 2018年04月26日
要約:
【課題】ワークの固定強度の低下、形状変化や破損、加工形状のずれ等の発生を抑制する。【解決手段】ワーク吸着固定治具は、ベース体と可動体と付勢部材と閉塞体と開閉切替体とを備える。ベース体には、真空吸引装置との接続口に連通する吸引流路を構成する複数の吸引流路用孔が形成されている。可動体は、吸引流路用孔に摺動可能に取り付けられた筒状部分を有し、端部に形成された外部連通孔を介して外部と連通し内部連通孔を介して吸引流路に連通する内部空間を有する。付勢部材は、ワークの非載置時に各可動体が第1の位置に位置するように各可動体を付勢する。閉塞体は、各可動体の内部空間内に収容され、閉塞位置にあるときに内部連通孔を閉塞する。開閉切替体は、可動体が第2の位置にあるときに、閉塞体による内部連通孔の閉塞を阻害して内部連通孔を介した内部空間と吸引流路との連通を確保する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
第1の方向の一方側の面に載置されたワークを真空吸着して固定するためのワーク吸着固定治具において、
真空吸引装置との接続口と、前記第1の方向に延びると共に前記第1の方向の前記一方側に開口し、前記接続口に連通する吸引流路を構成する複数の吸引流路用孔と、が形成されたベース体と、
前記複数の吸引流路用孔のそれぞれに対して前記第1の方向に摺動可能に取り付けられた前記第1の方向に延びる筒状部分を有し、前記第1の方向の前記一方側の端部に外部連通孔が形成され、前記外部連通孔を介して外部と連通すると共に内部連通孔を介して前記吸引流路に連通する内部空間が形成された可動体と、
各前記可動体について設けられ、前記ワークの非載置時に各前記可動体が、各前記可動体の前記外部連通孔が前記第1の方向に略直交する仮想平面内に含まれるような第1の位置に位置するように、各前記可動体を前記第1の方向の前記一方側に付勢する付勢部材と、
各前記可動体の前記内部空間内に収容され、所定の閉塞位置にあるときに前記内部連通孔を閉塞する閉塞体と、
各前記吸引流路用孔の内部に配置され、前記可動体が前記第1の位置にあるときには前記内部空間の外に位置し、前記可動体が前記第1の位置より前記第1の方向の他方側である第2の位置にあるときには、前記内部連通孔を通って前記内部空間内に突出した状態となることにより、前記閉塞体による前記内部連通孔の閉塞を阻害して前記内部連通孔を介した前記内部空間と前記吸引流路との連通を確保する開閉切替体と、
を備えることを特徴とする、ワーク吸着固定治具。
IPC (3件):
B25J 15/06
, H01L 21/683
, H01L 21/677
FI (3件):
B25J15/06 E
, H01L21/68 P
, H01L21/68 B
Fターム (13件):
3C707DS01
, 3C707FS01
, 3C707FT13
, 3C707FU05
, 3C707NS09
, 3C707NS13
, 5F131AA02
, 5F131CA07
, 5F131CA09
, 5F131DB22
, 5F131DB25
, 5F131EB02
, 5F131EB54
引用特許:
審査官引用 (6件)
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吸着エレメントおよび物品吸着装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-036857
出願人:山中泰夫
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半導体装置の製造装置および製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-082139
出願人:ローム株式会社
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真空吸着装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-283904
出願人:梁溶燦, 徐貞任
-
ロック機能付き把持装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-032284
出願人:株式会社IHI
-
吸着パッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-062951
出願人:九州日本電気株式会社
-
保持装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-244499
出願人:リコーエレメックス株式会社
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