特許
J-GLOBAL ID：201803012211920800
接触面の少なくとも一方において、接触面の一方に施与された犠牲層を溶解させながら金属接触面を接合する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 久野 琢也
, 篠 良一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-522292
特許番号：特許第6282342号
出願日： 2013年07月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1基板(1、1')の、少なくとも部分的に金属製の第1接触面と、第2基板の、少なくとも部分的に金属製の第2接触面との接合方法において、その際前記接触面は、ハイブリッド表面として形成されていて、以下の経過:
-接触面から酸化物を除去する工程、
-前記接触面の少なくとも一方の材料中に、主に拡散可能な犠牲層(4)を、前記接触面の少なくとも一方に施与する工程、
-前記接触面の少なくとも一方において、前記犠牲層(4)の拡散下で、前記基板(1、1')を接合し、その際前記犠牲層(4)は完全に水からなる工程、
前記基板を100°C未満の温度で熱処理する工程、
を有し、前記接触面の少なくとも一方が、接合領域(3)全面に配置されている、接合方法。
IPC (3件)：
H01L 21/60 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, B23K 20/00 ( 200 6.01)
H01L 21/60 311 Q
, H01L 21/02 B
, B23K 20/00 310 M
