特許
J-GLOBAL ID：201803012221703425
ペリクル枠及びペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
仲 晃一
, 森貞 好昭
, 田中 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-137646
公開番号（公開出願番号）：特開2018-010087
出願日： 2016年07月12日
公開日（公表日）： 2018年01月18日
要約：
【課題】ペリクルの貼り付けによる露光原版の変形を効果的に抑制可能なペリクル枠であって、複雑形状を有さないペリクル枠を提供する。【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金の粉末焼結材からなり、当該アルミニウム又は当該アルミニウム合金が、1000系アルミニウム、3000系アルミニウム合金、5000系アルミニウム合金、6000系アルミニウム合金、7000系アルミニウム合金又はアルミニウムを含有した合金から選択されること、を特徴とするペリクル枠。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
アルミニウム又はアルミニウム合金の粉末焼結材で構成されていること、
を特徴とするペリクル枠。
IPC (4件)：
G03F 1/64
, G03F 1/62
, B65D 85/86
, B22F 3/20
G03F1/64
, G03F1/62
, B65D85/38 R
, B22F3/20 A
2H195BC36
, 2H195BC37
, 2H195BC38
, 2H195BC39
, 3E096AA01
, 3E096BA30
, 3E096BB03
, 3E096CA19
, 3E096DA18
, 3E096DB01
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096EA06X
, 3E096EA06Y
, 3E096FA20
, 3E096GA01
, 4K018AA15
, 4K018BA08
, 4K018BB04
, 4K018CA23
, 4K018EA31
, 4K018HA08
, 4K018KA22
, 4K018KA32
