特許

J-GLOBAL ID：201803012402391468

MEMSセンサ

発明者： リュトゥコネン・ヴィッレ-ペッカ
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (2件)： 吉川 修一 ,  傍島 正朗
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-567377
公開番号（公開出願番号）：特表2018-528399
出願日： 2016年06月22日
公開日（公表日）： 2018年09月27日
要約：

本発明は、線形加速度を測定するための可動および固定コンポーネントを有するMEMSセンサに関する。MEMSセンサは、MEMSセンサの気密封止のための壁を提供する共通のフレーム構造体内に配置される少なくとも2つの相互に独立した差動センサ素子を含む。相互に独立した差動センサ素子は、線形加速度の二重差動検出を行うように対で構成される。MEMSセンサは、少なくとも2つの対で配置される差動センサ素子が固定される共通の固定エリアを含む。共通の固定エリアは、対で構成される差動センサ素子の重心に位置決めされる。MEMSセンサの自己テスト能力も提供する。

請求項（抜粋）：

共通のフレーム構造体内部に配置される少なくとも2つの相互に独立した差動センサ素子を備える、線形加速度を測定するための可動および固定式コンポーネントを伴うMEMSセンサであって、前記フレーム構造体は、前記MEMSセンサの気密封止のための壁を提供し、前記少なくとも2つの相互に独立した差動センサ素子は、前記線形加速度の二重差動検出を実行するために対で構成され、前記MEMSセンサは、 前記対で構成される差動センサ素子のロータマスおよびステータ構造が固定される共通の固定エリアを備え、前記共通の固定エリアは、前記対で構成される差動センサ素子の重心に位置決めされることを特徴とする、MEMSセンサ。

IPC (6件)：

G01P 15/125 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/08 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (6件)：

G01P15/125 Z ,  G01P15/18 ,  G01P15/08 101A ,  G01P21/00 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (16件)：

3C081AA01 ,  3C081BA07 ,  3C081BA22 ,  3C081BA30 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112FA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 力学量センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-029912   出願人：大日本印刷株式会社
• 慣性センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-248308   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (2件)

• 力学量センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-029912   出願人：大日本印刷株式会社
• 慣性センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-248308   出願人：株式会社東芝