特許
J-GLOBAL ID：201003075106720718

慣性センサ

発明者：
川久保 隆

川久保 隆 について

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長野 利彦

長野 利彦 について

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西垣 亨彦

西垣 亨彦 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (2件)： 松山 允之 ,  池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-248308
公開番号（公開出願番号）：特開2010-078500
出願日： 2008年09月26日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】製造プロセスが容易で、超小型化が可能な多軸の加速度センサないしは角速度センサを提供する。【解決手段】基板1と、基板1上方に形成され、少なくとも下部電極、圧電膜、および上部電極の順に積層される積層構造を有する平板状の重錘4と、重錘4の内部の切り欠き部5に形成され、基板1上に固定されるアンカー部2と、一端が重錘4に接続され、他端がアンカー部2に接続され、重錘4の内部の切り欠き部5に形成され、少なくとも下部電極、圧電膜、および上部電極で構成される積層構造を有する平板状の複数の圧電梁3とを備え、重錘4に作用する加速度を、圧電梁3の電極に発生する電荷に基づいて検出することを特徴とする慣性センサ。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上方に形成され、少なくとも下部電極、圧電膜、および上部電極で構成される積層構造を有する平板状の重錘と、 前記重錘の内部の切り欠き部に形成され、前記基板上に固定されるアンカー部と、 一端が前記重錘に接続され、他端が前記アンカー部に接続され、前記重錘の内部の切り欠き部に形成され、少なくとも下部電極、圧電膜、および上部電極で構成される積層構造を有する平板状の複数の圧電梁とを備え、 前記重錘に作用する加速度を、前記圧電梁の電極に発生する電荷に基づいて検出することを特徴とする慣性センサ。
IPC (8件)：
G01P 15/09 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/18 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
G01P15/09 D ,  G01C19/56 ,  G01P15/00 K ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (8件)：
2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105BB17 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 力学量センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-274530   出願人：日本電装株式会社
審査官引用 (14件)
  • 加速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-284085   出願人：キヤノン株式会社
  • 振動ジャイロ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-246022   出願人：京セラ株式会社
  • 加速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-311083   出願人：松下電器産業株式会社
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