レーザ維持プラズマ照明システム及び方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-515919
公開番号（公開出願番号）：特表2018-530116
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：

照明ポンプ源が開示される。本照明ポンプ源は、一組のレーザビームを生成するよう構成された一組のパワー源を有するものであり、それら一組のレーザビームのうち少なくとも幾本かは、相異なる波長を有する照明を含むよう構成される。本照明ポンプ源は更に光ファイバを有する。本照明ポンプ源は、更に、レーザビームのうち少なくとも幾本かに由来する照明を光ファイバの一領域又は複数領域に結合させるよう構成された、1個又は複数個の光学素子を有する。

請求項（抜粋）：

複数本のレーザビームを生成するよう構成された複数個のパワー源であり、それらパワー源のうち少なくとも幾つかが、相異なる波長を有する照明を含むレーザビームを放射する複数個のパワー源と、光ファイバと、 1個又は複数個の光学素子と、を備え、上記1個又は複数個の光学素子が、上記レーザビームのうち少なくとも幾本かに由来する照明を上記光ファイバの一領域又は複数領域に結合させるよう構成されている照明ポンプ源。

IPC (3件)：

H01J 65/04 , H01J 65/00 , G02B 6/42

FI (3件)：

H01J65/04 Z , H01J65/00 Z , G02B6/42

Fターム (15件)：

2H137AA10 , 2H137AA17 , 2H137AB06 , 2H137BA02 , 2H137BA07 , 2H137BA18 , 2H137BB02 , 2H137BB08 , 2H137BB17 , 2H137BC02 , 2H137BC07 , 2H137BC31 , 2H137BC32 , 2H137BC51 , 2H137BC52

引用特許：

審査官引用 (6件)

レーザー駆動の光源
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-552158 出願人：エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド
高温プラズマを持続させるための光ポンピング
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-550265 出願人：ケーエルエー-テンカーコーポレイション
合波レーザー光源および露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-273849 出願人：富士写真フイルム株式会社

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