特許
J-GLOBAL ID：201203039745086017
高温プラズマを持続させるための光ポンピング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-550265
公開番号（公開出願番号）：特表2012-518252
出願日： 2010年02月12日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
要約：
電磁放射線の第1の波長を体積内のガスに合焦することによってプラズマを持続させる方法であり、第1の波長が第1のガス種によって実質的に吸収され且つ第1のサイズと第1の温度とを有するプラズマの第1の領域にエネルギーを送達する。電磁放射線の第2の波長は、プラズマの第1の領域に合焦され、第2の波長は、第1の波長とは異なり、且つ第2のガス種によって実質的に吸収され、且つ第1のサイズよりも小さい第2のサイズと第1の温度よりも高い第2の温度とを有するプラズマの第1の領域内のプラズマの第2の領域にエネルギーを送達する。
請求項（抜粋）：
プラズマを持続させる方法であって、
電磁放射線の第1の波長を体積内のガスに合焦するステップであって、前記第1の波長が第1のガス種によって実質的に吸収され且つ第1のサイズと第1の温度とを有するプラズマの第1の領域にエネルギーを伝達するステップと、
電磁放射線の第2の波長をプラズマの第1の領域に合焦するステップであって、前記第2の波長が前記第1の波長とは異なり且つ第2のガス種によって実質的に吸収され且つ前記第1のサイズよりも小さい第2のサイズと前記第1の温度よりも高い第2の温度とを有する前記プラズマの第1の領域内のプラズマの第2の領域にエネルギーを伝達するステップと、
を含む方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05G1/00 K
, H01L21/30 531S
4C092AA06
, 4C092AB21
, 4C092AC09
, 4C092BD20
, 5F146GA21
, 5F146GC12
