特許
J-GLOBAL ID:200903095759558770

合波レーザー光源および露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-273849
公開番号(公開出願番号):特開2002-202442
出願日: 2001年09月10日
公開日(公表日): 2002年07月19日
要約:
【要約】【課題】 高出力が得られる低コストの合波レーザー光源を得る。【解決手段】 複数の半導体レーザーLD1〜7からそれぞれ出射したレーザービームB1〜7を、例えばコリメーターレンズ11〜17および集光レンズ20からなる集光光学系で集光した上でマルチモード光ファイバー30に結合させて合波する。
請求項(抜粋):
複数の半導体レーザーと、1本のマルチモード光ファイバーと、前記複数の半導体レーザーからそれぞれ出射したレーザービームを集光した上で前記マルチモード光ファイバーに結合させる集光光学系とを備えてなる合波レーザー光源。
IPC (6件):
G02B 6/42 ,  G02B 3/00 ,  H01S 5/022 ,  H01S 5/323 610 ,  H04N 1/036 ,  H04N 1/113
FI (6件):
G02B 6/42 ,  G02B 3/00 A ,  H01S 5/022 ,  H01S 5/323 610 ,  H04N 1/036 A ,  H04N 1/04 104 Z
Fターム (32件):
2H037AA03 ,  2H037BA03 ,  2H037BA05 ,  2H037DA03 ,  2H037DA04 ,  2H037DA05 ,  2H037DA06 ,  2H037DA18 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA02 ,  5C051DB02 ,  5C051DB22 ,  5C051DB25 ,  5C051DC02 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C072AA03 ,  5C072HA02 ,  5C072HA06 ,  5C072HA10 ,  5C072HA20 ,  5F073AB15 ,  5F073AB27 ,  5F073AB28 ,  5F073BA09 ,  5F073CA07 ,  5F073EA24 ,  5F073FA07 ,  5F073FA08 ,  5F073FA14 ,  5F073FA24
引用特許:
審査官引用 (6件)
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引用文献:
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