特許
J-GLOBAL ID:200903095759558770
合波レーザー光源および露光装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-273849
公開番号(公開出願番号):特開2002-202442
出願日: 2001年09月10日
公開日(公表日): 2002年07月19日
要約:
【要約】【課題】 高出力が得られる低コストの合波レーザー光源を得る。【解決手段】 複数の半導体レーザーLD1〜7からそれぞれ出射したレーザービームB1〜7を、例えばコリメーターレンズ11〜17および集光レンズ20からなる集光光学系で集光した上でマルチモード光ファイバー30に結合させて合波する。
請求項(抜粋):
複数の半導体レーザーと、1本のマルチモード光ファイバーと、前記複数の半導体レーザーからそれぞれ出射したレーザービームを集光した上で前記マルチモード光ファイバーに結合させる集光光学系とを備えてなる合波レーザー光源。
IPC (6件):
G02B 6/42
, G02B 3/00
, H01S 5/022
, H01S 5/323 610
, H04N 1/036
, H04N 1/113
FI (6件):
G02B 6/42
, G02B 3/00 A
, H01S 5/022
, H01S 5/323 610
, H04N 1/036 A
, H04N 1/04 104 Z
Fターム (32件):
2H037AA03
, 2H037BA03
, 2H037BA05
, 2H037DA03
, 2H037DA04
, 2H037DA05
, 2H037DA06
, 2H037DA18
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA02
, 5C051DB02
, 5C051DB22
, 5C051DB25
, 5C051DC02
, 5C051DC04
, 5C051DC07
, 5C072AA03
, 5C072HA02
, 5C072HA06
, 5C072HA10
, 5C072HA20
, 5F073AB15
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073BA09
, 5F073CA07
, 5F073EA24
, 5F073FA07
, 5F073FA08
, 5F073FA14
, 5F073FA24
引用特許:
引用文献:
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