特許
J-GLOBAL ID：201803012612460225

変位検出装置

発明者：
松下 憲司

松下 憲司 について


出願人/特許権者：
DMG森精機株式会社

DMG森精機株式会社 について


代理人 (2件)： 小池 晃 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-140429
公開番号（公開出願番号）：特開2018-009933
出願日： 2016年07月15日
公開日（公表日）： 2018年01月18日
要約：
【課題】回折格子が計測方向以外へ変位したり傾いたりした場合でも計測誤差を軽減することができる変位検出装置を提供する。【解決手段】変位検出装置1は、光を照射する光源2と、偏光ビームスプリッタ7と、回折格子11と、光路シフト用プリズム部16A(16〜19)と、光路補正用レンズ14、20と、干渉光受光部22A(22〜30)と、を備えている。光路シフト用プリズム部16Aは、1回目の回折光を計測方向と垂直な方向にシフトさせる。光路補正用レンズ14、20は、光路の対称軸上に配置され、回折格子11が格子面の法線方向に移動したり、傾いたりした場合の光路を補正する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
回折格子の移動により被測定対象の一方向の相対移動変位を検出する変位検出装置であって、 可干渉光を照射する光源と、 前記光源から照射される前記可干渉光を平行光束化するコリメートレンズと、 前記コリメートレンズで平行光束化されたコリメート光を2つの光束に分割する光束分割素子と、 分割された前記光束のそれぞれを偏向させて所定の角度で前記回折格子に入射させる偏向ミラーと、 前記光束の光路中に設けられる焦点距離の等しい2つの光路補正用レンズと、 前記回折格子で1回目の回折光の光路を計測方向と垂直な方向に平行移動させて前記回折格子に再入射させる光路シフト用プリズム部と、 前記光路シフト用プリズム部で平行移動され、前記回折格子で再度回折され、前記光束分割素子で重ね合わされた回折光を干渉させて受光する干渉光受光部と、 干渉光強度に基づいて前記回折格子の変位情報を出力する相対位置検出器と、を備え、 前記光束分割素子で2つに分割された前記光束のそれぞれは、回折角度が前記回折格子の回折面に対して略垂直となる入射角度で前記回折格子の格子面の法線を対称軸として対称となるように前記回折格子に入射され、 前記2つの光路補正用レンズは、前記対称軸上に配置されており、一方の光路補正用レンズの一方の焦点が前記格子面上にあり、一方の光路補正用レンズの他方の焦点が他方の光路補正用レンズの焦点と一致するように配置されていることを特徴とする変位検出装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  G01D 5/38
FI (2件)：
G01B11/00 G ,  G01D5/38 A
Fターム (41件)：
2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065BB15 ,  2F065DD04 ,  2F065FF16 ,  2F065FF49 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ24 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ51 ,  2F103BA10 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103CA10 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103EA15 ,  2F103EB02 ,  2F103EB16 ,  2F103EB32 ,  2F103EC01 ,  2F103EC12 ,  2F103EC14 ,  2F103ED02 ,  2F103ED21 ,  2F103ED27 ,  2F103FA01 ,  2F103FA12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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