特許
J-GLOBAL ID：201203091307782002

変位検出装置

発明者：
田宮 英明

田宮 英明 について


出願人/特許権者：
株式会社森精機製作所

株式会社森精機製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-140904
公開番号（公開出願番号）：特開2012-002787
出願日： 2010年06月21日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：
【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。【解決手段】変位検出装置は、回折格子2と、格子干渉計4,5と、相対位置情報出力手段6,7とを備えている。格子干渉計4,5は、光源3と、反射手段12,13と、ビームスプリッタ17と、受光手段18,19とを有している。反射手段12,13は、回折格子2によって回折された1回回折光L1,L2を反射させて、光源3からの光Lが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段12,13は、光源3から複合回折格子2への入射角度及び、1回回折光L1,L2が回折格子2を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子2に1回回折光L1,L2を入射させている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
光を回折する略平板状の回折格子と、 前記回折格子に光を照射し、正負の次数の2つの光に回折し、且つ回折された2つの光を干渉させると共に干渉信号を生成する格子干渉計と、 前記格子干渉計によって生成した前記干渉信号から前記回折格子の相対位置情報を検出する相対位置情報出力手段と、を備え、 前記格子干渉計は、 前記回折格子に光を照射する光源と、 前記回折格子によって回折された1回回折光を反射させて、前記光源からの前記光が照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させる反射手段と、 前記回折格子によって2回回折された2つの2回回折光を重ね合わせるビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタによって重ね合わされた前記2回回折光を受信して干渉信号を生成する受信手段と、を有し、 前記反射手段は、前記光源から前記回折格子への入射角度及び、前記1回回折光が前記回折格子を透過又は反射した角度と異なる角度で前記回折格子に前記1回回折光を入射させる 変位検出装置。
IPC (1件)：
G01D 5/38
FI (1件)：
G01D5/38 A
Fターム (28件)：
2F103BA04 ,  2F103BA08 ,  2F103BA10 ,  2F103BA29 ,  2F103BA41 ,  2F103CA01 ,  2F103CA02 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103EA05 ,  2F103EA15 ,  2F103EB02 ,  2F103EB06 ,  2F103EB08 ,  2F103EB16 ,  2F103EB18 ,  2F103EB32 ,  2F103EC01 ,  2F103EC08 ,  2F103EC11 ,  2F103EC13 ,  2F103EC14 ,  2F103EC15 ,  2F103ED02 ,  2F103ED21 ,  2F103ED27
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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