保持装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-123708
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228649
出願日： 2016年06月22日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

【課題】ウェハの温度分布が不均一になることを抑制する。【解決手段】保持装置は、第1の表面と、第1の表面とは反対側の第2の表面とを有し、絶縁材料で形成された板状の絶縁板と、絶縁板の内部、または、絶縁板の第2の表面側に配置されたヒータと、ヒータに電気的に接続される複数の給電端子とを備え、絶縁板の第1の表面側で対象物を保持する。ヒータは、複数のヒータ線を含み、複数の給電端子は、複数のヒータ線の少なくとも1つに電気的に接続される第1の給電端子と、第1の給電端子より多い数のヒータ線に電気的に接続される第2の給電端子とを含み、第2の給電端子の電流の流れ方向に直交する断面積は、第1の給電端子の電流の流れ方向に直交する断面積より大きい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面とを有し、絶縁材料で形成された板状の絶縁板と、前記絶縁板の内部、または、前記絶縁板の前記第2の表面側に配置されたヒータと、前記ヒータに電気的に接続される複数の給電端子とを備え、前記絶縁板の前記第1の表面側で対象物を保持する保持装置において、前記ヒータは、複数のヒータ線を含み、前記複数の給電端子は、前記複数のヒータ線の少なくとも1つに電気的に接続される第1の給電端子と、前記第1の給電端子より多い数の前記ヒータ線に電気的に接続される第2の給電端子とを含み、前記第2の給電端子の電流の流れ方向に直交する断面積は、前記第1の給電端子の電流の流れ方向に直交する断面積より大きいことを特徴とする、保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/683 , H05B 3/03 , H05B 3/74

FI (3件)：

H01L21/68 R , H05B3/03 , H05B3/74

Fターム (21件)：

3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB43 , 3K092QB49 , 3K092QC02 , 3K092QC19 , 3K092QC36 , 3K092QC38 , 3K092QC42 , 3K092RF11 , 3K092RF27 , 3K092VV22 , 5F131AA02 , 5F131CA03 , 5F131EB14 , 5F131EB17 , 5F131EB78 , 5F131EB79 , 5F131EB81 , 5F131EB82

引用特許：

出願人引用 (6件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-207148 出願人：日本特殊陶業株式会社
セラミックスヒータ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-019757 出願人：株式会社日本セラテック, 太平洋セメント株式会社
石英ガラス製加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-352598 出願人：ジーイー・スペシャルティ・マテリアルズ・ジャパン株式会社

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審査官引用 (1件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-207148 出願人：日本特殊陶業株式会社

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