特許
J-GLOBAL ID：201603012304620110

静電チャック

発明者：
奥川 圭介

奥川 圭介 について

, 
篠崎 洋輔

篠崎 洋輔 について

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野村 俊寿

野村 俊寿 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-207148
公開番号（公開出願番号）：特開2016-076646
出願日： 2014年10月08日
公開日（公表日）： 2016年05月12日
要約：
【課題】構造の簡素化によって本体基板上の特異点の数及び面積を低減でき、工数低減等による製造の容易化、製造効率の向上が可能な静電チャックを提供すること。【解決手段】静電チャックは、基板表面及び基板裏面を有し、セラミックからなる本体基板11と、本体基板11に設けられた吸着用電極と、ベース表面及びベース裏面を有し、ベース表面を本体基板11の基板裏面側に向けて配置された金属ベース12と、金属ベース12のベース表面とベース裏面とを貫通して形成された内部貫通穴51と、を備えている。本体基板11には、それぞれにヒータ電極が配置された複数の加熱領域が設けられている。内部貫通穴51内には、各加熱領域のヒータ電極に電気的に接続された複数のヒータ電極端子53が配置されている。内部貫通穴51内に配置された複数のヒータ電極端子53は、内部貫通穴51内に配置された接続部材6に電気的に接続されている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板表面及び基板裏面を有し、セラミックからなる本体基板と、 該本体基板に設けられた吸着用電極と、 ベース表面及びベース裏面を有し、前記ベース表面を前記本体基板の前記基板裏面側に向けて配置された金属ベースと、 該金属ベースの前記ベース表面と前記ベース裏面とを貫通して形成された内部貫通穴と、を備え、 前記本体基板には、それぞれにヒータ電極が配置された複数の加熱領域が設けられ、 前記内部貫通穴内には、前記各加熱領域の前記ヒータ電極に電気的に接続された複数のヒータ電極端子が配置され、 前記内部貫通穴内に配置された前記複数のヒータ電極端子は、前記内部貫通穴内に配置された接続部材に電気的に接続されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (11件)：
3C016GA10 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131CA37 ,  5F131EB15 ,  5F131EB18 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131EB85
引用特許：
審査官引用 (8件)
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