特許
J-GLOBAL ID：201803012956341411
感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
楊井 清志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-171012
公開番号（公開出願番号）：特開2014-063148
特許番号：特許第6330272号
出願日： 2013年08月21日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】一般式(1)で表される繰り返し単位
(式中、R1は、一般式(2)で表される基であり、R2は2価の有機基である。)を含む含フッ素高分子化合物(A)と、
感光剤(B)と、
極性溶剤(C)を含む、感光性樹脂組成物。
(式中、R3はそれぞれ独立に水素原子または保護基であり、R4は単結合、酸素原子、硫黄原子、SO2、CH2、CO、C(CH3)2、C(CH3)(CH2CH3)、C(CF3)2、C(CH3)(C6H5)、CH2-C6H4-CH2、またはベンゼン、ビフェニル、ナフタレン、シクロヘキセンもしくはフルオレンから水素原子が2個離脱した2価の有機基であり、aとbはそれぞれ独立に0〜2の整数であり、1≦a+b≦4である。)
IPC (8件)：
G03F 7/023 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/40 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08L 67/02 ( 200 6.01)
, C08L 63/00 ( 200 6.01)
, C08G 63/682 ( 200 6.01)
G03F 7/023
, G03F 7/004 501
, G03F 7/40 501
, G03F 7/038 601
, G03F 7/039 601
, C08L 67/02
, C08L 63/00 A
, C08G 63/682
