特許
J-GLOBAL ID：201803013043205293

塗布装置および塗布方法

発明者：
安陪 裕滋

安陪 裕滋 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について


代理人 (2件)： 振角 正一 ,  大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-180155
公開番号（公開出願番号）：特開2018-043200
出願日： 2016年09月15日
公開日（公表日）： 2018年03月22日
要約：
【課題】塗布処理のタクトタイムを短縮しながらも基板に塗布液を安定して塗布する。【解決手段】基板の主面を上方に向けた状態で基板を浮上させる浮上部と、浮上部により浮上させられた基板を所定の搬送方向に基板搬送速度で搬送する搬送部と、搬送部によって搬送される基板の主面に塗布液を吐出して塗布するノズルと、塗布液を吐出しているノズルを搬送方向に基板搬送速度よりも遅いノズル移動速度で移動させる移動部と、を備えている。【選択図】図7C
請求項（抜粋）：
基板の主面を上方に向けた状態で前記基板を浮上させる浮上部と、 前記浮上部により浮上させられた前記基板を所定の搬送方向に基板搬送速度で搬送する搬送部と、 前記搬送部によって搬送される前記基板の主面に塗布液を吐出して塗布するノズルと、 前記塗布液を吐出している前記ノズルを前記搬送方向に前記基板搬送速度よりも遅いノズル移動速度で移動させる移動部と、 を備えることを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 13/02 ,  B05C 5/02 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00
FI (5件)：
B05C13/02 ,  B05C5/02 ,  B05D1/26 Z ,  B05D3/00 C ,  B05D3/00 D
Fターム (24件)：
4D075AC02 ,  4D075AC78 ,  4D075AC88 ,  4D075AC94 ,  4D075CA47 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA22 ,  4F041CA02 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA04 ,  4F042BA08 ,  4F042DF10 ,  4F042DF19 ,  4F042DF30 ,  4F042DF34 ,  4F042DH09
引用特許：
審査官引用 (6件)
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