特許
J-GLOBAL ID:201803013312276674
歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
日向寺 雅彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-196220
公開番号(公開出願番号):特開2015-059932
特許番号:特許第6223761号
出願日: 2013年09月20日
公開日(公表日): 2015年03月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 変形可能な基板の上に設けられる歪検知素子であって、
参照層と、
前記基板の変形に応じて磁化が変化する磁化自由層と、
前記参照層と前記磁化自由層との間に設けられた中間層と、
を備え、
前記磁化自由層は、
前記中間層に接して設けられた第1磁性層と、
前記第1磁性層と離れて設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた磁気結合層と、
を有し、
前記第1磁性層の磁化は、前記第2磁性層の磁化と反平行であり、
前記第1磁性層の磁歪定数は、前記第2磁性層の磁歪定数と同じ極性を有する、歪検知素子。
IPC (5件):
G01L 9/16 ( 200 6.01)
, G01L 1/12 ( 200 6.01)
, G01B 7/16 ( 200 6.01)
, H01L 43/08 ( 200 6.01)
, H04R 15/00 ( 200 6.01)
FI (6件):
G01L 9/16
, G01L 1/12
, G01B 7/16 Z
, H01L 43/08 Z
, H01L 43/08 U
, H04R 15/00
引用特許: