補償光学系及び光学装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡邊薫 , 井上美和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-214103
公開番号（公開出願番号）：特開2018-055113
出願日： 2017年11月06日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：

【課題】観察対象と揺らぎ層との距離や観察対象の大きさにかかわらず、従来よりも精度よく波面位相収差を補正することができ、更に従来よりも補正範囲の広い補償光学系及び光学装置を提供する。【解決手段】補償光学系に、入射光に対して収差補正を行い補正後の光を出射する波面位相変調器と、波面位相変調器により形成されるゆらぎ補正面と結像共役となる面の位置を試料内において自在に調整する結像共役位置調整機構とを設ける。そして、結像共役位置調整機構により、揺らぎ補正面が、試料内に存在する揺らぎ層と、結像共役になるように調整する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

入射光に対して収差補正を行い補正後の光を出射する波面位相変調器と、前記波面位相変調器により形成されるゆらぎ補正面と結像共役となる面の位置を試料内において自在に調整する結像共役位置調整機構と、を有し、前記結像共役位置調整機構により、前記揺らぎ補正面が、前記試料内に存在する揺らぎ層と、結像共役になるように調整される補償光学系。

IPC (3件)：

G02B 13/00 , G02B 21/06 , G01N 21/64

FI (3件)：

G02B13/00 , G02B21/06 , G01N21/64 E

Fターム (26件)：

2G043AA03 , 2G043EA01 , 2G043FA02 , 2G043GA02 , 2G043GB01 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043HA15 , 2G043MA16 , 2H052AA03 , 2H052AA05 , 2H052AA08 , 2H052AA09 , 2H052AB06 , 2H052AB24 , 2H052AB25 , 2H052AB29 , 2H052AC18 , 2H052AC34 , 2H052AD06 , 2H052AF14 , 2H087KA01 , 2H087KA09 , 2H087LA01 , 2H087TA01 , 2H087TA04

引用特許：

審査官引用 (3件)

適応光学系を有する顕微鏡検査法
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-519780 出願人：ホワルドフグヘスメドイクアルインストイトウテ
収差補正方法、この収差補正方法を用いた顕微鏡観察方法、この収差補正方法を用いたレーザ照射方法、収差補正装置、及び、収差補正プログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-043099 出願人：浜松ホトニクス株式会社
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物器械
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-514709 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー

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