特許
J-GLOBAL ID:201803013484322341
システム、および試験決定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 昭徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-132633
公開番号(公開出願番号):特開2018-006603
出願日: 2016年07月04日
公開日(公表日): 2018年01月11日
要約:
【課題】試験時間の短縮化を図ること。【解決手段】システム100は、各被試験体のシリアルNo.について、シリアルNo.と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部101を有する。システム100は、各被試験体のうちのいずれかの被試験体のシリアルNo.が通知されると、記憶部101を参照して、通知されたシリアルNo.に対応付けられたスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、取得した情報がスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置103へ通知し、取得した情報がスクリーニング試験が必要でないことを示す場合に、スクリーニング試験の実行指示を試験装置103へ通知しない。【選択図】図1
請求項(抜粋):
各被試験体の識別情報について、前記識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部と、
前記各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報が通知されると、前記記憶部を参照して、通知された前記識別情報に対応付けられた前記所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、取得した前記要否を示す情報が前記所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、前記所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置へ通知する要否判断部と、
を有することを特徴とするシステム。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L21/02 Z
, G01R31/26 H
Fターム (8件):
2G003AA00
, 2G003AA07
, 2G003AC00
, 2G003AF02
, 2G003AF06
, 2G003AH01
, 2G003AH02
, 2G003AH04
引用特許:
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