特許
J-GLOBAL ID:201803013776878693
洗浄装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
松浦 孝
, 相川 守
, 小倉 洋樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-201880
公開番号(公開出願番号):特開2018-061941
出願日: 2016年10月13日
公開日(公表日): 2018年04月19日
要約:
【課題】洗浄槽を不要にすることによって装置全体が小型化され、かつ十分に高い洗浄能力を有する洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄液供給部16は容器C内に洗浄液を注入する。超音波ノズル30は容器Cの外面に超音波噴流を噴射する。超音波ノズル30から噴射される超音波噴流によって容器C内の洗浄液にキャビテーションを発生させて、容器Cの内面を洗浄する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
容器内に洗浄液を注入する注入手段と、
前記容器の外面に、伝達液に超音波を付与した超音波噴流を噴射する超音波ノズルとを備え、
前記超音波ノズルから噴射される超音波噴流によって前記容器内の洗浄液にキャビテーションを発生させて前記容器の内面を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件):
B08B 9/32
, B08B 9/093
, B08B 3/02
FI (3件):
B08B9/32
, B08B9/093
, B08B3/02 B
Fターム (13件):
3B116AA23
, 3B116AB14
, 3B116BB22
, 3B116BB83
, 3B116CC01
, 3B116CC03
, 3B201AA23
, 3B201AB14
, 3B201BB22
, 3B201BB83
, 3B201BB92
, 3B201CC01
, 3B201CC11
引用特許:
出願人引用 (8件)
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特公昭46-010713
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-362469
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-307334
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-381165
出願人:シャープ株式会社
-
基板処理方法および同装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-115119
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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せきを具備した超音波洗浄器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-042296
出願人:和田恭太郎
-
洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-372938
出願人:シャープ株式会社
-
洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-272651
出願人:シャープ株式会社
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審査官引用 (8件)
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特公昭46-010713
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-362469
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-307334
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-381165
出願人:シャープ株式会社
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基板処理方法および同装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-115119
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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せきを具備した超音波洗浄器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-042296
出願人:和田恭太郎
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洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-372938
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-272651
出願人:シャープ株式会社
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