特許
J-GLOBAL ID：201803014576137580
リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
森下 賢樹
, 青木 武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-095136
公開番号（公開出願番号）：特開2018-159933
出願日： 2018年05月17日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：
【課題】泡混入の可能性を少なくとも低減できるリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、本流体ハンドリング構造は、液浸流体を入れるよう構成された空間から本流体ハンドリング構造の外部の領域への境界において、空間からの半径方向外向きの液浸流体の通過に抵抗するメニスカス固定特徴部と、線形アレイ状の複数のガス供給開口と、線形アレイ状の複数のガス供給開口の半径方向外側に設けられた少なくともひとつのガスリカバリ開口と、を備える。複数のガス供給開口はメニスカス固定特徴部を少なくとも部分的に囲み、複数のガス供給開口はメニスカス固定特徴部の半径方向外側に設けられる。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、本流体ハンドリング構造は、液浸流体を入れるよう構成された空間の、本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、
前記空間からの半径方向外向きの液浸流体の通過に抵抗する線形アレイ状の複数の開口または単相抽出器を含むメニスカス固定特徴部と、
前記メニスカス固定特徴部を少なくとも部分的に囲み、かつ、前記メニスカス固定特徴部の半径方向外側にあり、2行を含む線形アレイ状に設けられた複数のガス供給開口と、を備え、
前記複数のガス供給開口は、前記2行に沿ってジグザグ状に設けられている、流体ハンドリング構造。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, G03F7/20 521
2H197AA09
, 2H197AA12
, 2H197CA01
, 2H197CA05
, 2H197CA06
, 2H197CA08
, 2H197CC01
, 2H197CC02
, 2H197CC03
, 2H197CC05
, 2H197DB28
, 2H197DB29
, 2H197HA03
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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