特許

J-GLOBAL ID：201803015065843202

開放速度を低減したバルブ駆動デバイス

発明者： ムッゾ、ポール ,  シュミッツ、ジャン-クラウド
出願人/特許権者： ルクセンブルグ・パテント・カンパニー・ソシエテ・アノニマ
代理人 (1件)： 特許業務法人 大島特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-531875
公開番号（公開出願番号）：特表2018-500518
出願日： 2015年12月02日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

本発明は、ボア(221)及び底部(222)を有する本体(22)と、前記本体(22)の前記ボア(221)内に、前記ボア(221)と密閉状態で接触し収容され、前記本体(22)とともに第1チャンバ(25)を形成する駆動エレメント(24)と、前記駆動エレメント(24)内の駆動ボア(241)を通って密閉状態で延在するピストン(26)と、第2チャンバ(27)を画定する前記ピストン(26)及び前記駆動ボア(241)と、前記第1チャンバ(25)と前記第2チャンバ(27)との間の補助流体通路とを含むバルブ駆動デバイス(20)に関する。前記駆動エレメント(24)の前記駆動ボア(241)内の前記ピストン(26)の動きは、前記第1チャンバ(25)内で圧力を増し、前記駆動エレメント(24)を動かす。前記補助流体通路は流れ制限部(28)及びチェックバルブ(30)を含み、この両方は並列に配置され、前記第2チャンバ(27)から前記第1チャンバ(25)への前記補助流体の流れを制限する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

バルブ駆動デバイス(20)であって、 ボア(221)及び底部(222)を含む本体(22)と、 前記本体(22)の前記ボア(221)内に、前記ボア(221)と密閉状態で接触して収容され、前記本体(22)の前記底部(222)と共に第1チャンバ(25)を形成する駆動エレメント(24)と、 前記駆動エレメント(24)内の駆動ボア(241)を通って密閉状態で延在する部分(261)を有し、前記部分(261)及び前記駆動ボア(241)により第2駆動チャンバ(27)を画定するようにしたピストン(26)と、 前記第1チャンバ(25)及び前記第2チャンバ(27)内に充填された補助流体と、 前記駆動エレメント(24)の前記駆動ボア(241)内の前記ピストン(26)の動きにより前記第1チャンバ(25)内の圧力を増加させ、前記駆動エレメント(24)を変位させるように、前記第1チャンバ(25)と前記第2チャンバ(27)との間に設けられた補助流体通路とを含み、 前記第1チャンバ(25)と前記第2チャンバ(27)との間の前記補助流体通路が、前記第2チャンバ(27)から前記第1チャンバ(25)への前記補助流体の流れを制限するように、相互に並列に配置された流れ制限部(28)とチェックバルブ(30)とを含むことを特徴とするバルブ駆動デバイス。

IPC (1件)：

F16K 31/122

FI (1件)：

F16K31/122

Fターム (7件)：

3H056AA02 ,  3H056BB02 ,  3H056CA01 ,  3H056CB03 ,  3H056CD04 ,  3H056EE08 ,  3H056GG03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体製造ガス用高圧ガス容器弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-202541   出願人：三菱商事株式会社, 株式会社鈴木商館, 株式会社大東バルブ製作所
• パイロット式2ポート弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-202081   出願人：SMC株式会社