特許
J-GLOBAL ID：201803015641252088

検査装置及び検査方法

発明者：
木川 洋一

木川 洋一 について

, 
自然 浩次

自然 浩次 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 昇 ,  中谷 寛昭 ,  日東 伸二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-144024
公開番号（公開出願番号）：特開2018-013438
出願日： 2016年07月22日
公開日（公表日）： 2018年01月25日
要約：
【課題】十分に感度良く欠陥を検知することが可能な位相差フィルムの検査装置等を提供する。【解決手段】検査対象である検査対象位相差フィルム41に照射する光を射出する光源部23と、前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配されて、前記光源部から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルムへと通過させる偏光フィルム31と、前記検査対象位相差フィルムを通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部25と、前記光源部から射出された前記光が前記検査部に受光されるまでの経路に配された非平行用位相差フィルム61とを備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査対象である検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する検査装置であって、 前記検査対象位相差フィルムに照射する光を射出する光源部と、 前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配されて、前記光源部から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルムへと通過させる偏光フィルムと、 前記検査対象位相差フィルムを通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部と、 前記光源部から射出された前記光が前記検査部に受光されるまでの経路に配された非平行用位相差フィルムとを備え、 前記非平行用位相差フィルムは、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成された、検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/892 ,  G01N 21/89 ,  G02B 5/30
FI (3件)：
G01N21/892 A ,  G01N21/89 H ,  G02B5/30
Fターム (19件)：
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA04 ,  2G051BA11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051CD05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2H149AA22 ,  2H149AB01 ,  2H149BA02 ,  2H149DA02 ,  2H149DA04 ,  2H149EA03 ,  2H149FB04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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