特許

J-GLOBAL ID：201803015703057562

光ナノインプリント用硬化性組成物

発明者： 白石 篤志 ,  中川 勝 ,  関 健斗
出願人/特許権者： サンアプロ株式会社 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (1件)： 林 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-189499
公開番号（公開出願番号）：特開2018-056273
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：

【課題】本発明は、微細パターン形成性、モールド剥離性およびエッチング耐性に優れる光ナノインプリント用硬化性組成物およびこれを用いたパターン形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、(A)一般式(1)で表されるオニウム塩、(B)カチオン重合性炭化水素化合物を必須成分として含有することを特徴とする、光ナノインプリント用硬化性組成物である。【化1】〔式(1)中、Rfは互いに独立して、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数2〜8のアルケニル基、炭素数6〜10のアリール基であり、かつそれぞれの基の炭素原子に結合した水素原子をフッ素原子で80%以上置換した基であり、nは1〜5の整数であり、A+は1価のオニウムカチオンである。〕【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)一般式(1)で表されるオニウム塩 (B)カチオン重合性炭化水素化合物 を必須成分として含有することを特徴とする、光ナノインプリント用硬化性組成物。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  C08F 2/48 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  C08F2/48 ,  H01L21/302 105A

Fターム (30件)：

4J011AA05 ,  4J011QA01 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011QA11 ,  4J011QA19 ,  4J011QA20 ,  4J011QA37 ,  4J011QA38 ,  4J011QA39 ,  4J011QA40 ,  4J011QA45 ,  4J011QA46 ,  4J011QC05 ,  4J011QC09 ,  4J011SA73 ,  4J011SA74 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011SA87 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011VA04 ,  4J011VA05 ,  4J011WA01 ,  4J011WA07 ,  5F004AA04 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01 ,  5F146AA33

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩、酸発生剤及び硬化性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-203992   出願人：サンアプロ株式会社
• 硬化性組成物、ナノインプリント材料、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、パターン形成方法及び半導体発光素子用基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-139749   出願人：JSR株式会社