特許
J-GLOBAL ID：201803016092354090
時間領域解析を用いた誘電率評価法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-120724
公開番号（公開出願番号）：特開2017-223614
出願日： 2016年06月17日
公開日（公表日）： 2017年12月21日
要約：
【課題】反射伝送法誘電率評価では、試料を封入する冶具両端における電磁波の反射の影響で、高精度な測定が行えない。マイクロ波帯(10GHz程度)において不要な信号の反射成分を除去するためにゲーティング法による時間領域解析を用いると、逆変換した際に低い周波数帯の解析図にはゲーティングに由来するエラーのために本来の誘電率解析図に現われないはずのリップルが現れる。【解決手段】時間領域解析において不要な信号の反射成分を除去するゲーティング法について時間領域波形の連続性が保たれるように波形拡張してから周波数領域に逆変換することでリップルを除去するゲーティング法による時間領域解析の補正方法を提案する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
マイクロ波帯電磁波を用いて所定の長さと接続部両端を有する同軸線路または導波管冶具に試料を封入しゲーティング法を利用した反射伝送法により誘電率特性を評価する誘電率測定装置であって、
所定の電磁波を前記同軸線路または導波管冶具に放出する手段と、
該放出された電磁波の反射波・透過波を測定しSパラメータを取得する手段と、
前記Sパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性を評価する手段を有し、
前記取得したSパラメータの時間領域波形から前記ゲーティング法を適用して前記同軸線路または導波管治具の接続部の多重反射を除去した時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形から得られた当該試料の誘電率特性に基づいて当該試料の誘電率特性の初期推定値を設定し、
前記ゲーティング法が適用されたSパラメータの時間領域波形を前記誘電率特性の初期推定値に対応する時間領域波形により当該ゲートの両側に延伸して得た時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形に基づいて当該試料の誘電率特性を評価することを特徴とする反射伝送法誘電率測定装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
G01N22/00 Y
, G01N22/00 G
, G01N22/00 S
