特許
J-GLOBAL ID：201803016438705472
サンプルの表面を検査する装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
廣瀬 隆行
, 関 大祐
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-518354
特許番号：特許第6268169号
出願日： 2013年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 サンプルの表面を検査する装置であって、
前記装置は、
一次荷電粒子ビームのアレイを生成するマルチビーム荷電粒子生成器と、
すべての荷電粒子ビームを、共通交差部に方向づける集光レンズと、
前記一次荷電粒子ビームを、前記共通交差部から、前記サンプル表面に向けて方向づけ、すべての一次荷電粒子ビームを、前記サンプル表面上の個々のスポットのアレイに収束するレンズシステムとを備え、
前記装置が、前記共通交差部を含み、光軸に垂直な面に位置づけられる検出面を備える、位置感応二次電子検出器を備え、
前記レンズシステムは、前記検出面において、前記サンプルの個々のスポットからの二次電子のビームを収束することを特徴とする、
装置。
IPC (5件)：
H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/09 ( 200 6.01)
, H01J 37/141 ( 200 6.01)
, H01J 37/10 ( 200 6.01)
H01J 37/244
, H01J 37/28 B
, H01J 37/09 A
, H01J 37/141 Z
, H01J 37/10
