多重軸複合レンズ、その複合レンズを用いたビーム系、およびその複合レンズの使用方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：池田憲保 , 福田修一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-560384
公開番号（公開出願番号）：特表2006-510184
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】本発明による荷電粒子マルチビーム(荷電粒子線又は電子線)光学系は、解像度の改良と収差の最小化とを可能とする。【解決手段】その光学系は、構成要素として一つの静電レンズ(18,19)と一つの磁気レンズ(15,16,17)との両者を組み合わせて備えており、その各構成要素は少なくとも二つのサブレンズを有し、各サブレンズでは、光学系を通過する複数の荷電粒子ビーム(12)それぞれに対して別々の開口部(14)を有し、この開口部それぞれで複数の荷電粒子ビームそれぞれを集束(焦点合せ)している。

請求項（抜粋）：

荷電粒子マルチビーム系用光学系(10,20)において、光学系は、少なくとも二つの静電サブレンズを含む、複数荷電粒子ビーム(12)用の一つの静電レンズ構成要素と、一つの共通励磁コイルを共有する少なくとも二つの磁気サブレンズを含む、複数荷電粒子ビーム用の一つの磁気レンズ構成要素とを有し、前記静電レンズ構成要素と磁気レンズ構成要素とは、荷電粒子ビーム用で少なくとも二つのサブレンズを含むマルチレンズを形成し、各サブレンズは、荷電粒子のための開口部(14)を含み、かつ各サブレンズは、荷電粒子ビームを焦点合わせするべく適応することを特徴とするマルチビーム系のための光学系。

IPC (5件)：

H01J 37/28 , H01J 37/12 , H01J 37/141 , H01J 37/305 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01J37/28 B , H01J37/12 , H01J37/141 A , H01J37/305 B , H01L21/30 541W

Fターム (10件)：

5C033CC06 , 5C033DD09 , 5C033UU02 , 5C034BB02 , 5F056AA33 , 5F056CB11 , 5F056CB32 , 5F056EA05 , 5F056EA06 , 5F056FA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第3715580号公報
米国特許出願第2001-0028038A1号公報

審査官引用 (7件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-356224 出願人：日本電子株式会社
走査電子顕微鏡等の対物レンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-329280 出願人：日本電子株式会社
特開昭61-101944

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