特許
J-GLOBAL ID：200903095573250393

荷電粒子線応用装置

発明者：
谷本 明佳

谷本 明佳 について

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上村 理

上村 理 について

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早田 康成

早田 康成 について

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太田 洋也

太田 洋也 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-144934
公開番号（公開出願番号）：特開2007-317467
出願日： 2006年05月25日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】 軸外収差の低減と、二次ビームの分離検出を両立させ得る荷電粒子線応用装置を提供する。 【解決手段】 複数の一次荷電粒子線を形成して、試料117上に投影して、第1の偏向器115により前記試料上を走査せしめる電子光学系と、前記複数の一次荷電粒子線の照射により前記試料の複数の箇所からから発生した複数の二次荷電粒子線120を個別に検出する複数の検出器124a、124b、124cと、前記試料に電圧を印加する電源とを備えた荷電粒子線応用装置において、前記一次荷電粒子線の行路と前記二次荷電粒子線の行路とを分離するウィーンフィルター113と、前記ウィーンフィルター113により分離された前記二次荷電粒子線を偏向する第2の偏向器123と、前記第1の偏向器と前記第2の偏向器を同期して制御する制御手段とを有し、前記複数の検出器は、前記ウィーンフィルターにより分離された前記複数の二次荷電粒子線を個別に検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の一次荷電粒子線を形成して、レンズアレイにより前記複数の一次荷電粒子線を個別に集束し、対物レンズにより試料上に投影して、第1の偏向器により前記試料上を走査せしめる電子光学系と、前記複数の一次荷電粒子線の照射により前記試料の複数の箇所からから発生した複数の二次荷電粒子線を個別に検出する複数の検出器と、前記試料に電圧を印加する電源と、前記試料を載置し移動可能なステージを備えた荷電粒子線応用装置において、 前記一次荷電粒子線の行路と前記二次荷電粒子線の行路とを分離するウィーンフィルターと、 前記ウィーンフィルターにより分離された前記二次荷電粒子線を偏向する第2の偏向器と、 前記第1の偏向器と前記第2の偏向器を同期して制御する制御手段とを有し、 前記複数の検出器は、前記ウィーンフィルターにより分離され前記第2の偏向器により偏向される前記複数の二次荷電粒子線を個別に検出するよう構成したことを特徴とする荷電粒子線応用装置。
IPC (2件)：
H01J 37/28 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
H01J37/28 B ,  H01L21/66 J
Fターム (11件)：
4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA14 ,  4M106CA39 ,  4M106DB02 ,  4M106DB05 ,  4M106DB15 ,  5C033UU01 ,  5C033UU02 ,  5C033UU04 ,  5C033UU08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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