特許

J-GLOBAL ID：201803016674450256

センサ一体型吸着チャック及び処理装置

発明者： 八坂 三夫 ,  辰巳 良昭 ,  村上 賢志 ,  田原 竜夫 ,  秋山 守人 ,  笠嶋 悠司 ,  上杉 文彦
出願人/特許権者： 株式会社クリエイティブテクノロジー ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
代理人 (2件)： 眞鍋 潔 ,  柏谷 昭司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-155080
公開番号（公開出願番号）：特開2015-026700
特許番号：特許第6222656号
出願日： 2013年07月25日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 吸着機構を備えた吸着チャックと、 前記吸着チャックの試料載置面と反対側の面上に前記反対側の面に対して一体成膜した第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造を有する音響センサと を有するセンサ一体型吸着チャック装置。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/3065 ( 200 6.01) ,  H02N 13/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/302 103 ,  H02N 13/00 D

引用特許：

出願人引用 (7件)

• 超音波プローブの一部を内蔵した基板載置台及び超音波プローブ貫通孔の密閉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-285985   出願人：科学技術振興事業団, 株式会社東京カソード研究所
• トランスデューサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-108128   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• 平面研削盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-193851   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 異常状態検出方法およびシート状圧電センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-186208   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• 積層圧電体、圧電アクチュエータおよび印刷ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-278758   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭63-013339
  
• 特開平3-259749
  

審査官引用 (4件)

• 超音波プローブの一部を内蔵した基板載置台及び超音波プローブ貫通孔の密閉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-285985   出願人：科学技術振興事業団, 株式会社東京カソード研究所
• トランスデューサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-108128   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• 平面研削盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-193851   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 異常状態検出方法およびシート状圧電センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-186208   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所