特許
J-GLOBAL ID:201203035445860688
積層圧電体、圧電アクチュエータおよび印刷ヘッド
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深井 敏和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-278758
公開番号(公開出願番号):特開2012-080121
出願日: 2011年12月20日
公開日(公表日): 2012年04月19日
要約:
【課題】全体厚みが100μm以下であっても層間剥離を抑制でき、優れた圧電特性が得られ、しかも変位制御が容易な積層圧電体、圧電アクチュエータおよびこれを備えた印刷ヘッドを提供することである。【解決手段】複数の圧電セラミック層1を積層した積層体と、該積層体の内部に設けられたAg-Pd合金からなる内部電極2とを備え、厚みが100μm以下であり、内部電極2がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の90%以上がAg-Pd合金の粒界の3重点に存在する積層圧電体である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の圧電セラミック層を積層した積層体と、該積層体の表面および/または内部に設けられたAg-Pd合金からなる電極層とを備えた厚み100μm以下の積層圧電体であって、前記電極層がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の90%以上が前記Ag-Pd合金の粒界の3重点に存在することを特徴とする積層圧電体。
IPC (7件):
H01L 41/083
, H01L 41/08
, H01L 41/187
, H01L 41/24
, H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (14件):
H01L41/08 Q
, H01L41/08 S
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101F
, H01L41/18 101E
, H01L41/18 101J
, H01L41/22 A
, H01L41/22 B
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 N
, B41J3/04 103A
Fターム (11件):
2C057AF51
, 2C057AF65
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG52
, 2C057AG55
, 2C057AP14
, 2C057AP57
, 2C057AQ06
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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