特許
J-GLOBAL ID：201803016676789790
基板搬送装置および方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-026871
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142700
出願日： 2018年02月19日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
【課題】高効率に安全に搬送される基板搬送装置および方法を提供する。【解決手段】マニピュレータ1とワークステージ2との間に設けられ、第1方向に沿って平行に設けられた基板上板移送テーブル5および基板下板移送テーブル6を有し、前記第1方向に垂直な第2方向に沿って、前記ワークステージ2と前記マニピュレータ1との間で基板を移送するための基板移送テーブル3と、前記基板上板移送テーブル5または前記基板下板移送テーブル6により前記基板を移送する過程において空気膜を生成して前記基板を持ち上げるための基板移行空気浮上アセンブリ4と、を有し、基板移行空気浮上アセンブリ4がガイドローラとが協働する。【選択図】図1a
請求項（抜粋）：
基板搬送装置であって、
マニピュレータとワークステージとの間に設けられ、かつ第1方向に沿って平行に設けられた基板上板移送テーブルおよび基板下板移送テーブルを有し、前記第1方向に垂直な第2方向に沿って、前記ワークステージと前記マニピュレータとの間で基板を移送するための基板移送テーブルと、
全体フレームと、前記全体フレームの前記ワークステージに近接した側に固定して接続され、かつ前記基板上板移送テーブルと前記基板下板移送テーブルのうちのそれぞれと接続され、前記基板上板移送テーブルまたは前記基板下板移送テーブルにより前記基板を移送する過程において空気膜を生成して前記基板を持ち上げるための基板移行空気浮上アセンブリと、を有する、ことを特徴とする装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/68 A
, H01L21/68 B
5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131AA12
, 5F131AA32
, 5F131AA33
, 5F131BA11
, 5F131BB03
, 5F131BB13
, 5F131CA32
, 5F131CA51
, 5F131DA02
, 5F131DA22
, 5F131DA33
, 5F131DA35
, 5F131DA42
, 5F131DB02
, 5F131DB22
, 5F131DB57
, 5F131DB72
, 5F131DC12
, 5F131DC22
