特許
J-GLOBAL ID：200903056769732439

搬送システム

発明者：
今枝 幸博

今枝 幸博 について

, 
長谷川 晃

長谷川 晃 について


出願人/特許権者：
村田機械株式会社

村田機械株式会社 について


代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-076231
公開番号（公開出願番号）：特開2007-246274
出願日： 2006年03月20日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】撓みやすい物品を搬送する際に、搬送装置の間で物品が撓むことを防止する。【解決手段】上流側のコンベヤ4と下流側のコンベヤ6のいずれかに、エア通路12とノズル14とを設けて、コンベヤ4,6間でガラス基板22の先端部の底面側に気流を吹き付ける。ガラス基板22の先端を光源16からの光の反射位置が基板22の有無で変化することで検出し、先端検出後所定時間の間ノズル14を動作させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の搬送装置を間隔を開けて上流側から下流側へ配置して、前記搬送装置間で物品を一定の高さレベルで水平に乗り移らせて搬送するシステムであって、 前記物品を搬送装置間で乗り移らせる際に、前記物品の下流側の端部が前記一定の高さレベルよりも下がらないようにするため、前記物品の底面へ向けて上向きの気流を吹き付けるためのノズルを設けたことを特徴とする搬送システム。
IPC (3件)：
B65G 49/06 ,  B65G 47/52 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
B65G49/06 Z ,  B65G47/52 A ,  H01L21/68 A
Fターム (10件)：
3F044AA08 ,  3F044AA13 ,  3F044CD08 ,  3F044CF10 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031GA53 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
  • 基板の受渡し方法、及びその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-219480   出願人：神鋼電機株式会社
  • 薄板の搬送方法及び装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-261508   出願人：株式会社日本設計工業, 東レエンジニアリング株式会社
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-193926   出願人：東京エレクトロン株式会社
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