特許
J-GLOBAL ID：201803016873742584
原子層堆積反応器における基板ウェブトラックの形成
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川守田 光紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-522673
特許番号：特許第6243526号
出願日： 2013年06月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1のサポートロールセットを第2のサポートロールセットに対して移動させることによって、原子層堆積反応器の反応容器の中に繰返しパターンを持つ基板ウェブトラックを形成することと;
前記トラックが形成されたとき、前記第1及び第2のサポートロールセットによって前記基板ウェブを支えることと;
を含み、ここで前記移動させることは、前記第1のサポートロールセットを、前記第2のサポートロールセットの一方側から前記第2のサポートロールセットの反対側に移動させることを含む、方法。
IPC (4件)：
C23C 16/54 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
, H01L 21/31 ( 200 6.01)
C23C 16/54
, H01L 21/68 N
, H01L 21/205
, H01L 21/31 B
