特許
J-GLOBAL ID:201803017110077098

計測システム、計測方法および計測プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-162269
公開番号(公開出願番号):特開2018-031604
出願日: 2016年08月22日
公開日(公表日): 2018年03月01日
要約:
【課題】精度の高い3次元形状の計測が可能な計測システムを提供する。【解決手段】計測システムは、計測部と、算出部と、補正部とを備える。計測部は、複数の測定点において対象物との距離を測定することにより対象物の3次元座標のデータを計測する。算出部は、3次元座標が既知である既知対象物における複数の測定点の各々について、計測部により複数回計測することにより得られた補正用データと既知対象物の真値とに基づいて、複数の測定点の各々についての補正用データの信頼度を算出する。補正部は、測定対象物を計測部により計測することで得られた複数の測定点の各々における計測データのうち、信頼度の高い補正用データの測定点に対応した点で計測された計測データの補正幅に対する重み付けが、信頼度の低い補正用データの測定点に対応した点で計測された計測データの補正幅に対する重み付けよりも大きくなるように補正する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
複数の測定点において対象物との距離を測定することにより前記対象物の3次元座標のデータを計測する計測部と、 3次元座標が既知である既知対象物における前記複数の測定点の各々について、前記計測部により複数回計測することにより得られた補正用データと前記既知対象物の真値とに基づいて、前記複数の測定点の各々についての補正用データの信頼度を算出する算出部と、 測定対象物を前記計測部により計測することで得られた前記複数の測定点の各々における計測データのうち、前記信頼度の高い前記補正用データの前記測定点に対応した点で計測された前記計測データの補正幅に対する重み付けが、前記信頼度の低い前記補正用データの前記測定点に対応した点で計測された前記計測データの補正幅に対する重み付けよりも大きくなるように補正する補正部とを備える、計測システム。
IPC (1件):
G01B 21/20
FI (1件):
G01B21/20 C
Fターム (12件):
2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069AA68 ,  2F069DD19 ,  2F069EE00 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069NN02 ,  2F069NN25 ,  2F069NN26
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 調整方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-134013   出願人:株式会社ニコン
審査官引用 (1件)
  • 調整方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-134013   出願人:株式会社ニコン

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