特許
J-GLOBAL ID：201803017244700557

無線周波数(RF)インピーダンス調整動作の監視制御

発明者：
デイヴィッド・ジェイ・クーモウ

デイヴィッド・ジェイ・クーモウ について

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ロス・ラインハート

ロス・ラインハート について

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ユーリー・エルナー

ユーリー・エルナー について

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ダニエル・エム・ギル

ダニエル・エム・ギル について


出願人/特許権者：
エムケーエス インストゥルメンツ,インコーポレイテッド

エムケーエス インストゥルメンツ,インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-508201
公開番号（公開出願番号）：特表2018-533855
出願日： 2016年08月08日
公開日（公表日）： 2018年11月15日
要約：
RF信号を出力する電力増幅器を有するRF生成器と、コントローラとを含む無線周波数(RF)制御システム。マッチングネットワークは、RF信号を受信し、少なくとも1つのRF出力信号を生成する。第1の動作モードにおいて、コントローラは、インピーダンスマッチを達成するために、RF信号の周波数と、マッチングネットワークの調整要素との調節を可能にし、第2の動作モードにおいて、コントローラは、周波数がターゲット周波数へ調節されている間、インピーダンスマッチを達成するために、マッチングネットワークの調整要素のみの調節を可能にする。RF制御システムは、連続的かつパルス動作モードで動作する。
請求項（抜粋）：
無線周波数(RF)制御システムであって、 RF信号を出力する電力増幅器を含むRF生成器であって、前記RF生成器はコントローラをさらに含み、前記コントローラは、前記RF信号の周波数を変動させる、RF生成器と、 前記RF信号を受信するマッチングネットワークであって、前記マッチングネットワークは、少なくとも1つのインピーダンス調整要素を含み、前記インピーダンス調整要素は、前記コントローラから通信されたコマンドに従って調節可能である、マッチングネットワークとを備え、 第1の動作モードにおいて、前記コントローラは、前記RF信号の前記周波数と前記インピーダンス調整要素との調節を可能にし、第2の動作モードにおいて、前記コントローラは、前記RF信号の前記周波数の調節を禁止し、前記インピーダンス調整要素の調節を可能にする、RF制御システム。
IPC (3件)：
H03F 3/20 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
H03F3/20 ,  H05H1/46 R ,  H01L21/302 101G
Fターム (32件)：
2G084AA02 ,  2G084BB22 ,  2G084DD55 ,  2G084EE06 ,  2G084HH05 ,  2G084HH08 ,  2G084HH21 ,  2G084HH22 ,  2G084HH23 ,  2G084HH28 ,  2G084HH29 ,  2G084HH52 ,  5F004BB13 ,  5F004CA09 ,  5J500AA01 ,  5J500AA41 ,  5J500AC75 ,  5J500AC87 ,  5J500AF17 ,  5J500AF18 ,  5J500AH30 ,  5J500AH42 ,  5J500AK26 ,  5J500AK28 ,  5J500AK30 ,  5J500AK31 ,  5J500AK32 ,  5J500AK34 ,  5J500AK41 ,  5J500AM13 ,  5J500AT01 ,  5J500AT07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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