特許

J-GLOBAL ID：201803018170133813

研磨パッド

発明者： 栗原 純 ,  山口 哲史 ,  菅原 将人
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-256316
公開番号（公開出願番号）：特開2018-108612
出願日： 2016年12月28日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【課題】研磨後の基板表面のスクラッチを低減できる研磨パッドを提供する。【解決手段】本開示は、研磨層を有する研磨パッドであって、前記研磨層のガラス転移温度Tgが-10°C超16°C未満である研磨パッドに関する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

研磨層を有する研磨パッドであって、 前記研磨層のガラス転移温度Tgが、-10°C超16°C未満である、研磨パッド。

IPC (1件)：

B24B 37/24

FI (2件)：

B24B37/24 Z ,  B24B37/24 C

Fターム (12件)：

3C158AA07 ,  3C158AC04 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158CB02 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB10 ,  3C158EB19 ,  3C158EB20 ,  3C158ED28

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-229889   出願人：株式会社クラレ
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-006232   出願人：東洋ゴム工業株式会社
• 研磨用発泡シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-373168   出願人：住友ベークライト株式会社
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-095951   出願人：東レコーテックス株式会社
• 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-259055   出願人：富士紡ホールディングス株式会社