特許
J-GLOBAL ID：201803018793787687

三次元形状計測システム

発明者：
近藤 余範

近藤 余範 について

, 
尾藤 洋一

尾藤 洋一 について


出願人/特許権者：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

国立研究開発法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-195480
公開番号（公開出願番号）：特開2018-059733
出願日： 2016年10月03日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
要約：
【課題】高精度で大型の対象物も計測可能な3Dトポグラフィ測定装置を提供する。【解決手段】三次元形状計測システムは、第1オートコリメータ2を測定対象物4の複数位置で第1の方向に相対的にスキャンさせ、測定対象物の表面における第1の方向の二次元形状を計測する第1の二次元形状計測機構と、第1オートコリメータ2を測定対象物4の特定位置で、第1の方向と交差する第2の方向に相対的にスキャンさせ、測定対象物4の表面における第2の方向の二次元形状を計測する第2の二次元形状計測機構とを備えている。第1の二次元形状計測機構が計測した第1の方向の二次元形状と、第2の二次元形状計測機構が計測した第2の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、測定対象物4の三次元形状を得る。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
測定対象物の特定の複数位置で、オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し第1の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第1の方向の二次元形状を複数位置で計測する第1の二次元形状計測機構と、 前記オートコリメータを前記測定対象物の特定位置で、前記オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し、前記第1の方向と交差する第2の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第2の方向の二次元形状を計測する第2の二次元形状計測機構とを備え、 前記第1の二次元形状計測機構が計測した前記第1の方向の二次元形状と、前記第2の二次元形状計測機構が計測した前記第2の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、前記測定対象物の三次元形状を得ることを特徴とする三次元形状計測システム。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/26
FI (2件)：
G01B11/24 A ,  G01B11/26 Z
Fターム (20件)：
2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065FF65 ,  2F065HH04 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL14 ,  2F065LL28 ,  2F065MM01 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 表面形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359677   出願人：株式会社東北テクノアーチ
  • 3次元形状測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-147609   出願人：オリンパス株式会社

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