特許

J-GLOBAL ID：201803020371945950

誘電体バリア放電イオン化検出器

発明者： 品田 恵 ,  北野 勝久
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所 ,  国立大学法人大阪大学
代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-175501
公開番号（公開出願番号）：特開2018-040718
出願日： 2016年09月08日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
要約：

【課題】高SN比を達成可能なAr-BIDを提供する。【解決手段】誘電体円筒管111と、その外壁に周設され交流電源に接続された高圧電極112と、高圧電極112の上下に周設された上流側接地電極113及び下流側接地電極114とを有し、放電部110内での放電によりArを含むガスからプラズマを生成させ、電荷収集部に供給された試料ガス中の成分を前記プラズマの作用によってイオン化し、該イオン化された成分によるイオン電流を検出する誘電体バリア放電イオン化検出器において、誘電体円筒管111の内周面に半導体膜117を形成すると共に、上流側接地電極113及び下流側接地電極114の長さをそれぞれ高圧電極112と管路先端部材116の間及び高圧電極112と電荷収集部120の間における沿面放電の開始距離よりも長くする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルゴンを含有するプラズマ生成ガスが流通するガス流路中での放電により生起させたプラズマを利用して試料ガス中の試料成分をイオン化し検出する誘電体バリア放電イオン化検出器であって、 a)誘電体から成る管であって前記ガス流路の上流側の一区画を収容する誘電体管と、 b)前記誘電体管の外壁に取り付けられた高圧電極と、 c)電気的に接地され、前記ガス流路を臨むように配置された電極であって、該ガス流路を臨む面が誘電体で被覆されると共に該面の少なくとも一部が前記プラズマ生成ガスの流れ方向において前記高圧電極より下流側に位置する接地電極と、 d)前記高圧電極に接続され、前記ガス流路中に誘電体バリア放電を生起させてプラズマを生成するべく前記高圧電極と前記接地電極の間に交流電圧を印加する交流電源と、 e)前記ガス流路の下流側の一区画であって、前記接地電極よりも下流に位置し、試料を該区画に導入する試料ガス導入手段と、前記プラズマから発せられた光によって前記試料ガス中の試料成分から生成されたイオンを収集する収集電極とを備えた電荷収集部と、 を有し、 前記誘電体管の、前記高圧電極が取り付けられている領域及び/又は該領域よりも下流且つ前記電荷収集部よりも上流の領域の内壁に半導体膜が形成されていると共に、 前記高圧電極よりも下流における前記接地電極の長さが、前記高圧電極と前記電荷収集部の間における沿面放電の開始距離よりも長いことを特徴とする誘電体バリア放電イオン化検出器。

IPC (2件)：

G01N 27/70 ,  G01N 30/64

FI (2件)：

G01N27/70 ,  G01N30/64 F

Fターム (3件)：

2G041CA04 ,  2G041DA07 ,  2G041EA06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 放電イオン化電流検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-275922   出願人：株式会社島津製作所
• エキシマランプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-190081   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特許第6333632号