特許
J-GLOBAL ID：201803020529120512

酸化物結晶薄膜の製造方法

発明者：
織田 真也

織田 真也 について

, 
人羅 俊実

人羅 俊実 について


出願人/特許権者：
株式会社FLOSFIA

株式会社FLOSFIA について


代理人 (3件)： SK特許業務法人 ,  奥野 彰彦 ,  伊藤 寛之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-212620
公開番号（公開出願番号）：特開2014-234344
特許番号：特許第6233959号
出願日： 2013年10月10日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 原料溶液を微粒子化して生成される原料微粒子をキャリアガスによって成膜室に供給して前記成膜室内配置された被成膜試料上に薄膜を形成する工程を備え、前記原料溶液が水を含み、前記薄膜が酸化物結晶薄膜であり、前記原料溶液の原料濃度が0.15mol/L以上であり、前記原料溶液の原料溶質が、塩化ガリウム、臭化ガリウム、ヨウ化ガリウムまたは塩化物イオン含有アルミニウムアセチルアセトナートを含む、薄膜の製造方法。
IPC (5件)：
C30B 29/16 ( 200 6.01) ,  C30B 29/22 ( 200 6.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01) ,  C01G 15/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C30B 29/16 ,  C30B 29/22 A ,  C30B 29/22 Z ,  C23C 16/40 ,  C01G 15/00 D ,  C01G 15/00 B ,  H01L 21/205
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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