特許
J-GLOBAL ID：201803020714722170
基板搬送システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-173506
公開番号（公開出願番号）：特開2017-004007
特許番号：特許第6304331号
出願日： 2016年09月06日
公開日（公表日）： 2017年01月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】可撓性を有する帯状の基板に所定の処理を施す処理装置に、前記基板を装填するように搬送するための基板搬送システムであって、
前記処理装置に供給すべき前記基板が長尺方向に巻かれた供給ロールを回転させる第1回転駆動部を備えると共に、前記基板の長尺方向と短尺方向を含む所定の面内で並進運動と回転運動とが可能な第1のユニット部と、
前記処理装置で処理された前記基板が長尺方向に巻かれる回収ロールを回転させる第2回転駆動部を備えると共に、前記所定の面内で並進運動と回転運動とが可能な第2のユニット部と、
前記基板を前記処理装置に向けて搬送する際、前記供給ロールと前記回収ロールの間に前記基板を掛け渡した状態で、前記第1のユニット部と前記第2のユニット部との前記長尺方向の間隔を変えるように前記第1のユニット部と前記第2のユニット部の少なくとも一方を移動させ、前記所定の面内に設定される中心点の回りに前記第1のユニット部と前記第2のユニット部とを旋回させるように、前記第1のユニット部と前記第2のユニット部の各々の並進運動と回転運動を制御すると共に、前記第1のユニット部と前記第2のユニット部との間隔が変わるとき、前記供給ロールと前記回収ロールとの間に掛け渡された前記基板がたるまないように、前記第1回転駆動部または前記第2回転駆動部を制御する制御装置と、
を備える基板搬送システム。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B08B 11/00 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, H01L 21/68 A
, B08B 11/00 A
, G02F 1/13 101
