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J-GLOBAL ID：201902212732479734   整理番号：19A1370137

ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ構造が及ぼす熱伝導特性評価

著者 (8件)： 竹内悠希 (明治大 理工) ,  横川凌 (明治大 理工) ,  横川凌 (日本学術振興会) ,  高橋和也 (東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ) ,  小森克彦 (東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ) ,  森本保 (東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ) ,  澤本直美 (明治大 理工) ,  小椋厚志 (明治大 理工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.9p-W371-1  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 背景と目的:多結晶シリコン(poly-Si)薄膜は、大面積薄膜トランジスタ(TFT)用基板などの応用を念頭に盛んに研究が行われている。また近年、熱電デバイス応用にも期待され、シリコンナノ結晶を積極的に利用することでフォノン散乱を意図的に引き...【本文一部表示】

シソーラス用語： *ポリシリコン ,  スペクトルシフト ,  *Ramanスペクトル ,  熱電素子 ,  半導体薄膜 ,  ナノ構造 ,  ウエハ【IC】 ,  LPCVD ,  結晶粒径 ,  *熱伝導率
準シソーラス用語： Ramanシフト ,  Si基板

分類 (2件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  半導体の赤外スペクトル及びRaman散乱・Ramanスペクトル  (BM08066B)

タイトルに関連する用語 (5件)： ラマン分光法 ,  多結晶シリコン ,  ナノ構造 ,  熱伝導特性 ,  評価