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J-GLOBAL ID：201902213037933656   整理番号：19A1328413

ガラス熱インプリント用Ni-Wナノ金型

Ni-W Nano Mold for Glass Thermal Imprint

著者 (5件)： 安井学 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所) ,  金子智 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所) ,  黒内正仁 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所) ,  伊藤寛明 (近畿大学 工学部) ,  荒井政大 (名古屋大学工学研究科航空宇宙工学専攻)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 139  号： 5  ページ： 644-647(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 0.5kHzから5kHzへのパルス電流周波数の増加はNi-W膜の亀裂を抑制した。さらに,膜厚は15μmから20μmに増加した。しかし,Ni-W膜のW含有量は約20at%で,パルス電流の周波数の影響を受けなかった。樹脂金型ではNi-W膜をは剥離した。しかし,Ni型では78μm厚のNi-W膜を析出できた。しかしながら,ピンホールはNi-Wモールドのモスアイ構造の頂点で発生した。ピンホールの発生の原因として,めっき中に発生する水素はNiマスタディスク上のモスアイの凹部に残っているので,凹部に残留する水素を防ぐ必要があると考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *金型 ,  ニッケル ,  タングステン ,  *押付成形 ,  *微細加工 ,  *素子構造 ,  めっき ,  電流
準シソーラス用語： *Ni-Wナノ金型 ,  *ガラス熱インプリント ,  パルス電流 ,  *モスアイ構造 ,  熱インプリント

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分類 (2件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E) ,  めっき一般  (WC08021T)

引用文献 (21件)：

• (1) T. Taguchi, H. Hayashi, A. Fujii, K. Tsuda, N. Yamada, K. Minoura, A.Isurugi, I. Ihara, and Y. Itoh : “Ultra-Low-Reflective 60-in. LCD with Uniform Moth-Eye Surface for Digital Signage”, SID Symposium Digest of Technical Papers, Vol. 41, No. 1, pp. 1196-1199 (2010)
• (2) S. Ji, K. Song, T. B. Nguyen, N. Kim, and H. Lim : “Optimal Moth Eye Nanostructure Array on Transparent Glass Towards Broadband Antireflection”, ACS Appl. Mater. Interfaces, Vol. 5, No. 21, pp. 10731-10737 (2013)
• (3) S. S. Oha, C.-G. Choia, and Y.-S. Kim : “Fabrication of micro-lens arrays with moth-eye antireflective nanostructures using thermal imprinting process”, Microelectronic Engineering, Vol. 87, No. 11, pp. 2328-2331 (2010)
• (4) S. A. Boden and D. M. Bagnall : “Optimization of moth-eye antireflection schemes for silicon solar cells”, Progress in Photovoltaics: Research and Applications, Vol. 18, No. 3, pp. 195-203 (2010)
• (5) J. W. Leem, S. Kim, S. H. Lee, J. A. Rogers, E. Kim, and J. S. Yu : “Efficiency Enhancement of Organic Solar Cells Using Hydrophobic Antireflective Inverted Moth-Eye Nanopatterned PDMS Films”, Advanced Energy Materials, Vol. 4, No. 8, p. 1301315 (2014)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガラス ,  熱インプリント ,  金型