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J-GLOBAL ID：201902215910394002   整理番号：19A0114278

飛行時間スパッタ中性質量分析計のための電子データ収集と操作制御システム【JST・京大機械翻訳】

Electronic data acquisition and operational control system for time-of-flight sputtered neutral mass spectrometer

著者 (7件)： Bajo Ken-ichi (Department of Earth and Planetary Sciences, Hokkaido University, Sapporo, Japan) ,  Fujioka Osamu (National Instruments Japan Corporation, Minato-ku, Japan) ,  Itose Satoru (JEOL Ltd, Akishima, Japan) ,  Ishihara Morio (Department of Physics, Graduate School of Science, Osaka University, Toyonaka, Japan) ,  Uchino Kiichiro (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Kasuga, Japan) ,  Yurimoto Hisayoshi (Department of Earth and Planetary Sciences, Hokkaido University, Sapporo, Japan) ,  Yurimoto Hisayoshi (ISAS/JAXA, Sagamihara, Japan)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 51  号： 1  ページ： 35-39  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 飛行時間型スパッタ中性質量分析(TOF-SNMS)のための新しい電気データ収集と操作制御システムを開発した。システムは,高速データ収集,データ処理,およびデータストリーミングのために設計される。開発したシステムをNI-PXIプラットフォーム上に構築し,TOF-SNMS動作のためのタイミングクロックを提供した。このシステムは,雑音抑制とイオン計数のデータ処理を実行し,一方,1/ミリ秒ごとに3GS/sのサンプリング速度で13マイクロ秒の長さのTOF質量スペクトルを得た。さらに,システムは,データ処理なしで,1/ミリ秒ごとに,3GS/sのサンプリング率で,60μm秒長のTOF質量スペクトルを取得し,記録した。このシステムは,TOF質量スペクトルの単一イベントから10~7倍の蓄積TOF質量スペクトルと10イオンまでの計数から単一イオン信号を検出する。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *データ収集 ,  雑音発生防止 ,  高速度 ,  スペクトル ,  質量スペクトル ,  *質量分析 ,  イオン ,  データ処理 ,  クロック ,  *質量分析計
準シソーラス用語： マイクロ秒 ,  サンプリング速度 ,  計数 ,  データストリーミング ,  *飛行時間 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 電子データ収集 ,  スパッタ中性質量分析 ,  飛行時間質量分析

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 飛行時間 ,  スパッタ ,  中性 ,  質量分析計 ,  電子データ ,  収集 ,  操作制御