文献

J-GLOBAL ID：201902228527323916   整理番号：19A2675965

3000°Cでタンタルフィラメントを用いたホットフィラメント化学蒸着による単結晶ダイヤモンド(100)膜の高速成長【JST・京大機械翻訳】

High-Rate Growth of Single-Crystalline Diamond (100) Films by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition with Tantalum Filaments at 3000 °C

著者 (16件)： Tabakoya Taira (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Kanada Shohei (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Wakui Yusuke (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Takamori Yue (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Yamada Tatsuki (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Nagai Masatsugu (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Kojima Yoshiyasu (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Kojima Yoshiyasu (Technical Engineering Division, Arios Incorporated, Akishima, 196-0021, Japan) ,  Ariyada Osamu (Arios Incorporated, Akishima, 196-0021, Japan) ,  Yamasaki Satoshi (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Yamasaki Satoshi (Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, 305-8568, Japan) ,  Nebel Christoph E. (Fraunhofer Institute for Applied Solid State Physics, Applied Solid State Physics IAF, Freiburg, 79108, Germany) ,  Matsumoto Tsubasa (Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Inokuma Takao (Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Tokuda Norio (Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan) ,  Tokuda Norio (Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, 305-8568, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 216  号： 21  ページ： e1900244  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単結晶(100)ダイヤモンド膜を,初めて3000°Cで熱フィラメント化学蒸着を用いて成長させ,タンタルフィラメントを用いて達成した。10μm・h(-1)の高い成長速度が達成され,2000°Cで達成されたものより約50倍速い。高い速度で成長させたダイヤモンド膜のRamanスペクトルは1333cm-1にピークを示し,半値全幅は2.8cm-1で,シード基板(2.7cm-1)と同程度であった。成長した膜の表面は滑らかで,ヒロックや非エピタキシャル微結晶はなかった。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *単結晶 ,  微結晶 ,  *化学蒸着 ,  *タンタル ,  *高速度 ,  *ダイヤモンド ,  *フィラメント ,  エピタクシー ,  Ramanスペクトル ,  FWHM ,  基板 ,  成長速度
準シソーラス用語： ヒロック ,  ダイヤモンド膜 ,  *単結晶ダイアモンド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ダイヤモンドの成長 ,  高成長速度 ,  熱フィラメント化学蒸着 ,  タンタルフィラメント

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

タイトルに関連する用語 (5件)： タンタル ,  フィラメント ,  化学蒸着 ,  単結晶ダイヤモンド ,  成長