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J-GLOBAL ID：201902228586755812   整理番号：19A0082981

炭素ナノ壁の成長に及ぼす低温緩衝液の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of low temperature buffer on carbon nano wall’s growth

著者 (10件)： Singh Rupesh (Graduate School of Engineering, Chubu University, Aichi 487-8501, Japan) ,  Kawahara Toshio (Graduate School of Engineering, Chubu University, Aichi 487-8501, Japan) ,  Kawahara Toshio (College of Life and Health Sciences, Chubu University, Aichi 487-8501, Japan) ,  Ohmi Yuhsuke (College of Life and Health Sciences, Chubu University, Aichi 487-8501, Japan) ,  Ohno Yasuhide (Graduate School of Science and Technology, Tokushima University, Tokushima 770-8501, Japan) ,  Maehashi Kenzo (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo 184-8588, Japan) ,  Matsumoto Kazuhiko (The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Osaka 567-0047, Japan) ,  Okamoto Kazumasa (Faculty of Engineering, Hokkaido University, Hokkaido, 060-8628, Japan) ,  Utsunomiya Risa (Nisshin Electric Co., Ltd., Kyoto 615-8686, Japan) ,  Yoshimura Masamichi (Toyota Technological Institute, Aichi 468-8511, Japan)
資料名： Materials Today Communications  (Materials Today Communications)
巻： 17  ページ： 94-99  発行年： 2018年 
JST資料番号： W3060A  ISSN： 2352-4928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,プラズマ増強化学蒸着(PECVD)法によるカーボンナノウォール(CNW)の成長のための低温バッファ(LTB)層の応用を紹介する。CNWの成長に対するLTBによる促進を調べた。測定した電気的性質は,LTB(L-CNW)上に成長させたCNWが成長したままのCNW(as-CNW)と比較して電気的特性を向上させることを示した。L-CNWのRamanスペクトルをCNWと比較した。堆積条件の変化に関して,脱畳込み黒鉛ピークは平均値から小さな偏差を示した。比較は,L-CNWに対する膜品質の向上を示し,黒鉛化はより顕著であるように見えた。さらに,LTB層は,表面音響波(SAW)デバイスおよびトランスデューサにおける金属電極として用いることを可能にするCNWの自己アラインメントを改善した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,  プラズマCVD ,  電気的性質 ,  黒鉛化 ,  基板 ,  *低温 ,  自己整合 ,  品質 ,  グラファイト ,  *炭素 ,  畳込み ,  変換器
準シソーラス用語： 金属電極 ,  カーボンナノウォール ,  *ナノ壁 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 低温バッファ ,  カーボンナノ壁の成長 ,  プラズマCVDプロセス ,  自己整列成長 ,  基板の幾何学

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 炭素 ,  ナノ壁 ,  成長 ,  低温 ,  緩衝液