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J-GLOBAL ID：201902230734473663   整理番号：19A2189080

高分解能皮膚センサを目指した反応性イオンエッチングを用いたβ-PVDF膜上のリソグラフィーマイクロパターン形成

Lithographic micropatterning on the β-PVDF film using reactive ion etching aim for high-resolution skin sensors

著者 (4件)： Miki Hirofumi (Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan) ,  Sugii Ryota (Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan) ,  Kawabata Yutoku (Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan) ,  Tsuchitani Shigeki (Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan)
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 14  号： 10  ページ： 1575-1577  発行年： 2019年10月 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来のクリーンルーム装置と市販の材料を用いた柔軟なβ相ポリフッ化ビニリデン(PVDF)膜の高忠実度リソグラフィーパターン形成法を報告した。著者らのプロセスにおいて,CHF₃,CF₄およびSF₆の化学反応性ガスを,O₂と混合した単純な物質として用いた。PVDFドライエッチング特性に及ぼすプロセスパラメータの影響を,放射周波数(RF)パワー,プロセス圧力,ガスタイプ,およびO₂中の混合濃度,ならびにその質量流量の制御によって研究した。一定のRFパワー(100W)と関連するプロセス条件で,40~70μmの微細線パターンと数十μm/hの高いエッチ速度が,その圧電性の大きな損失なしに110μm厚のβ-PVDF膜上に実現できた。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ポリフッ化ビニリデン ,  *パターン形成 ,  マイクロマシニング ,  微細加工 ,  *RIE【エッチング】 ,  MEMS ,  高分解能 ,  高分子膜 ,  リソグラフィー ,  皮膚 ,  生体計測 ,  体性感覚 ,  フッ化硫黄 ,  質量流量 ,  ミクロパターン形成 ,  皮膚感覚 ,  六フッ化硫黄 ,  フロン ,  トリハロメタン
準シソーラス用語： PVDF ,  *β-PVDF ,  *皮膚センサ

著者キーワード (5件)： β-PVDF ,  ドライエッチング ,  マイクロパターン ,  皮膚センサ ,  MEMS

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： トリフルオロメタン ,  四ふっ化メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： 高分解能 ,  皮膚 ,  反応性イオンエッチング ,  PVDF膜 ,  リソグラフィー ,  マイクロパターン形成