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J-GLOBAL ID：201902243987323217   整理番号：19A2888444

光ピンセットを用いたArプラズマと単一微粒子との相互作用解析

Analysis of interactions between Ar plasma and a single fine particle using optical tweezers

著者 (8件)： OHTOMO Hiroshi (Kyushu univ.) ,  MORI Kento (Kyushu univ.) ,  ZHOU Ren (Kyushu univ.) ,  YAMASHITA Daisuke (Kyushu univ.) ,  SEO Hyunwoong (Kyushu univ.) ,  ITAGAKI Naho (Kyushu univ.) ,  KOGA Kazunori (Kyushu univ.) ,  SHIRATANI Masaharu (Kyushu univ.)
資料名： プラズマ・核融合学会年会(Web)  (プラズマ・核融合学会年会予稿集(Web))
巻： 34th  ページ： ROMBUNNO.22P-138 (WEB ONLY)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U1621A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  *微粒子プラズマ ,  *光トラッピング ,  *画像分析 ,  高周波放電 ,  赤外レーザ ,  ポリメタクリル酸メチル ,  *軌道 ,  *圧力効果 ,  高速度カメラ ,  *運動
準シソーラス用語： PMMA ,  アルゴンプラズマ ,  *圧力依存性 ,  *画像解析 ,  *光ピンセット ,  *微粒子プラズマ相互作用 ,  *粒子運動 ,  *粒子軌道

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光ピンセット ,  Ar ,  プラズマ ,  微粒子 ,  相互作用 ,  解析